一种用于太阳能电池基片刻蚀的等离子体刻蚀机制造技术
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池基片刻蚀
，具体涉及一种用于太阳能电池基片刻蚀的等离子体刻蚀机。
技术介绍
在太阳能电池的生产制造工艺中，要用到一个关键设备就是刻蚀机。使用刻蚀机的目的是清洗太阳电池背面的一些杂质离子或者利用化学反应去除太阳电池背面一些不需要的物质。刻蚀机的原理是在一个长方体的槽体内装入反应用的化学药品原液，太阳能电池在刻蚀机内部通过时，其背面与原液接触进行反应，达到刻蚀、清洗的目的。在这一过程中，因为刻蚀机内部填充的原液是具有挥发性的化学药品，原液在反应中极易挥发并凝结在刻蚀机的盖板上，传统的刻蚀机盖板平行于刻蚀机槽体设计，当盖板上凝结的原液足够多时，就会在太阳能电池片刻蚀过程中滴落到太阳能电池的正面，而造成太阳能电池的报废。为了避免这种现象的产生，在生产过程中通常采用的做法是刻蚀机使用一段时间后，取下盖板擦拭干净原液后继续使用，既导致了生产效率的极度低下，又缩短了刻蚀机的使用寿命，并且造成了原液的极大浪费。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术存在的问题，提供一种设计合理，提高生产效率，延长使用寿命，提高原液利用率，可自动回流原液的用于太阳能电池基片刻蚀的的等离子体刻蚀机。为实现上述目的，本技术所述的一种用于太阳能电池基片刻蚀的等离子体刻蚀机，包括刻蚀机主体和电池片入口，其特征在于：所述刻蚀机主体顶部中间位置设有平行与所述电池片入口的中间挡板；所述中间挡板的两端分别垂直设有侧面盖板；所述刻蚀机主体平行于所述中间挡板的两个顶边上分别设有转动槽；所述转动槽内分别通过连接件活动连接位于所述中间挡板两侧的盖板；所述刻蚀机主体内设有紧贴刻蚀机主体...
【技术保护点】
一种用于太阳能电池基片刻蚀的等离子体刻蚀机，包括刻蚀机主体（1）和电池片入口（9），其特征在于：所述刻蚀机主体（1）的顶部中间位置设有平行与所述电池片入口（9）的中间挡板（4）；所述中间挡板（4）的两端分别垂直设有侧面盖板（8）；所述刻蚀机主体（1）平行于所述中间挡板（4）的两个顶边上分别设有转动槽（3）；所述转动槽（3）内分别通过连接件（6）活动连接位于所述中间挡板（4）两侧的盖板（5）；所述刻蚀机主体（1）内设有紧贴刻蚀机主体内侧壁的“日”字形引流槽（2）。
【技术特征摘要】
1.一种用于太阳能电池基片刻蚀的等离子体刻蚀机，包括刻蚀机主体（1）和电池片入口（9），其特征在于：所述刻蚀机主体（1）的顶部中间位置设有平行与所述电池片入口（9）的中间挡板（4）；所述中间挡板（4）的两端分别垂直设有侧面盖板（8）；所述刻蚀机主体（1）平行于所述中间挡板（4）的两个顶边上分别设有转动槽（3）；所述转动槽（3）内分别通过连接件（6）活动连接位于所述中间挡板（4）两侧的盖板（5）；所述刻蚀机主体（1）内设有紧贴刻蚀机主体内侧壁的“日”字形引流槽（2）。2.根据权...
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