【技术实现步骤摘要】
本技术涉及等离子设备,特别是一种超声波等离子体设备。
技术介绍
低温等离子体技术由于其快速、高效地处理效果,能够满足不改变材料本身特点的基础上,又能赋予材料新的性能,已经广泛应用于材料表面的各种改性。目前,绝大部分等离子体改性方式的等离子体源都采用低气压辉光放电的原理来进行的。在真空下,给等离子体反应腔内气体施加高频电场,气体在高频电场的作用下电离产生等离子体。很多情况下,改性所需试剂为液体时,就需要将液体原料气化来满足等离子体的发生条件。另外,气体通入等离子体反应腔的具体位置对于腔体内的等离子体的利用率也会产生一定的影响,进而影响材料处理的程度。
技术实现思路
针对上述情况,为克服现有技术之缺陷,本技术之目的就是提供一种超声波等离子体设备,可有效解决等离子体的利用率低,材料处理效果差的问题。本技术解决的技术方案是,包括气体进入装置、等离子体反应装置和真空泵装置,所述的气体进入装置包括储气罐、储液罐、控制阀和流量计,储气罐和储液罐相连通的管道上装有第一流量计、第二流量计,第一流量计和储气罐之间的管道上装有第一控制阀,第二流量计和储液罐之间的管道上装有第二控制阀,储液罐上装有超声波换能器,第一流量计、第二流量计之间的管道上装有与等离子体反应装置相连通的管道,管道上装有第三流量计;所述的等离子体反应装置包括壳体,壳体两侧分别有原料进口和原料出口,壳体上部内水平设置有高频电源正极,壳体底部内置有高频电源负极,高频电源正极和高频电源负极之间的壳体中部内设有正对原料进口和原料出口由电机带动的传送带,反应原料置于传送带的上带面;所述的真空泵装置是由真空泵经入口与真空泵上面的 ...
【技术保护点】
一种超声波等离子体设备,其特征在于,包括气体进入装置(1)、等离子体反应装置(2)和真空泵装置(3),所述的气体进入装置(1)包括储气罐、储液罐、控制阀和流量计,储气罐(1‑1)和储液罐(1‑6)相连通的管道上装有第一流量计(1‑3)、第二流量计(1‑4),第一流量计(1‑3)和储气罐(1‑1)之间的管道上装有第一控制阀(1‑2),第二流量计(1‑4)和储液罐(1‑6)之间的管道上装有第二控制阀(1‑5),储液罐(1‑6)上装有超声波换能器(1‑7),第一流量计(1‑3)、第二流量计(1‑4)之间的管道上装有与等离子体反应装置(2)相连通的管道(1‑10),管道(1‑10)上装有第三流量计(1‑11);所述的等离子体反应装置(2)包括壳体(2‑5),壳体(2‑5)两侧分别有原料进口(2‑3)和原料出口(2‑4),壳体(2‑5)上部内水平设置有高频电源正极(2‑1),壳体(2‑5)底部内置有高频电源负极(2‑2),高频电源正极(2‑1)和高频电源负极(2‑2)之间的壳体中部内设有正对原料进口(2‑3)和原料出口(2‑4)由电机带动的传送带(2‑8),反应原料(2‑7)置于传送带的上带面; ...
【技术特征摘要】
1.一种超声波等离子体设备,其特征在于,包括气体进入装置(1)、等离子体反应装置(2)和真空泵装置(3),所述的气体进入装置(1)包括储气罐、储液罐、控制阀和流量计,储气罐(1-1)和储液罐(1-6)相连通的管道上装有第一流量计(1-3)、第二流量计(1-4),第一流量计(1-3)和储气罐(1-1)之间的管道上装有第一控制阀(1-2),第二流量计(1-4)和储液罐(1-6)之间的管道上装有第二控制阀(1-5),储液罐(1-6)上装有超声波换能器(1-7),第一流量计(1-3)、第二流量计(1-4)之间的管道上装有与等离子体反应装置(2)相连通的管道(1-10),管道(1-10)上装有第三流量计(1-11);所述的等离子体反应装置(2)包括壳体(2-5),壳体(2-5)两侧分别有原料进口(2-3)和原料出口(2-4),壳体(2-5)...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘洁,康瑛珂,邢阳,苏黎宁,申兴丛,
申请(专利权)人:河南华禹环保科技有限公司,
类型:新型
国别省市:河南;41
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