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本实用新型公开了一种用于太阳能电池基片刻蚀的等离子体刻蚀机，包括刻蚀机主体和电池片入口，该刻蚀机主体顶部中间位置设有平行与电池片入口的中间挡板；中间挡板的两端分别垂直设有侧面盖板；刻蚀机主体平行于中间挡板的两个顶边上分别设有转动槽；转动槽内...
该专利属于酒泉职业技术学院所有，仅供学习研究参考，未经过酒泉职业技术学院授权不得商用。

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