下载一种太阳能电池湿法刻蚀设备的排风装置的技术资料

文档序号:7690965

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本实用新型提供一种太阳能电池湿法刻蚀设备的排风装置,包括设置在设备刻蚀槽内的沾液滚轮,设置在沾液滚轮的两边滚轮排风管,壁排风管,其中所述壁排风管固定在刻蚀槽内壁,其一端开口与刻蚀槽内气体相通,另一端与设备的抽气系统连接,所述滚轮排风管与设备...
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