形成有图案的基板的制造方法技术

技术编号:7329195 阅读:163 留言:0更新日期:2012-05-10 17:37
一种形成有图案之基板的制造方法。此方法包括:准备散布有多个氧化物珠粒的溶液;在基板上形成图案;设置临时结构在基板的上部分,以在基板上形成微通道;将散布有氧化物珠粒的溶液注入至微通道,并且将氧化物珠粒固定在基板上;以及热处理基板。据此,能够使得多个低价氧化物珠粒在基板上被图案化而形成想要的形状,可避免在干式刻蚀时在基板上所造成的损害。再者,不进行刻蚀工艺,使装置的产量不会减少进而增加装置的量产。另外,不需要高价装置来进行干式刻蚀,使得基板的制造方法更经济,并且能够达到在短时间内制造大量基板的高生产力。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术是有关于一种半导体装置(semiconductor device)的基板及其制造方法,且特别是有关于一种形成有多个图案的基板以使用其来制造高输出功率的发光二极管 (Light emitting diode, LED),以及基板的制造方法。
技术介绍
由于使用在手提式通讯装置(例如手机)、小型家用电器的袖珍型键盘(keypad) 或是液晶显示器(liquid crystal display,LCD)的背光单元的低输出功率的LED,进而使得LED市场得以发展。近几年,随着高输出功率、高效率光源(包括室内照明、室外照明与运输工具的内外空间)以及大型LCD的背光单元的需求增加,LED市场已将目标置于高输出功率的产品。其中,低发光效率(light emitting efficiency)为LED的一大难题。一般而言,发光效率是由下述所决定产生光的效率(内部量子效率,internal quantum efficiency)、发射光至装置外部空间的效率(外部光提取效率,external light extracting efficiency)以及利用磷光体(phos phor)来转换光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员:尹义埈权圣训
申请(专利权)人:财团法人首尔大学校产学协力团
类型:发明
国别省市:

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