本实用新型专利技术公开了一种硅片清洗干燥装置，该装置包括硅片固定部分和清洗干燥部分，硅片固定部分包括吸盘、电机座和电机，清洗干燥部分包括气嘴、水嘴，电机的输出端与所述吸盘连接，在吸盘与电机座的连接处套装有清洗头，清洗头包括夹持部分和清洗刷，清洗刷装于夹持部分的上端面，夹持部分与电机座、吸盘的接触处分别为嵌套配合，在夹持部分内部装有永磁铁，在电机座的上端面的内部安装有电磁线圈。由于夹持部分嵌套装于吸盘上，当电机带动吸盘转动时，夹持部分随着吸盘同步转动，清洗刷也同步转动，故在电机整个的转动过程中，清洗头对硅片的支承保护作用一直存在，气嘴、水嘴工作时，由于硅片整个平面都有支承，故能确保其不被损坏。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉硅片的加工设备，具体涉及一种硅片清洗干燥装置。
技术介绍
硅片磨削机主要用于薄片状太阳能硅片表面磨削，从而使太阳能硅片达到规定的厚度，并使表面达到一定的质量要求。近年来，为达到太阳能硅片的小型化和轻量化的目的，太阳能硅片的厚度越来越薄，例如做成200 μ m以下的情况较多。但是，若显著减小太阳能硅片(如蓝宝石均属硬脆性材料)的厚度，则太阳能硅片的刚性和强度将显著减小，现在市场上的清洗干燥装置对薄太阳能硅片清洗干燥时，薄太阳能硅片的损坏率高，因此有必要对其进行改造。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中存在的缺陷，提供了一种薄太阳能硅片清洗干燥装置，使其在完成薄太阳能硅片清洗干燥的同时，确保其不被损坏。为实现上述目的，本技术的技术方案是设计一种硅片清洗干燥装置，所述装置包括硅片固定部分和清洗干燥部分，所述硅片固定部分包括吸盘、电机座和电机，所述清洗干燥部分包括气嘴、水嘴，所述电机的输出端与所述吸盘连接，其特征在于，在所述吸盘与电机座的连接处套装有清洗头，所述清洗头包括夹持部分和清洗刷，所述清洗刷装于所述夹持部分的上端面，所述夹持部分与所述电机座、吸盘的接触处分别为嵌套配合，在所述夹持部分内部装有永磁铁，在所述电机座的上端面的内部安装有电磁线圈。作为优选的技术方案，所述电机座的上部为锥形面，所述夹持部分底部设有与所述锥形面相配合的锥形槽，所述吸盘与所述夹持部分的接触处为锥形面、或为齿面，在所述夹持部分的上部设有与所述吸盘相配合的锥形槽、或齿形槽。作为优选的技术方案，所述永磁铁的N极朝下，所述电磁线圈为逆时针螺旋安装。作为优选的技术方案，所述永磁铁的S极朝下，所述电磁线圈为顺时针螺旋安装。进一步优选的技术方案，所述电机座与外部箱体相连接，所述固定部分支承于所述箱体上。进一步优选的技术方案，在所述箱体底部装有橡胶垫，所述箱体的非支承所述固定部分的空腔内装有下隔离罩，所述下隔离罩一侧连接驱动气缸的气缸头。进一步优选的技术方案，所述下隔离罩的上部配合装有上隔离罩，所述上隔离罩内装有所述清洗干燥部分，所述上隔离罩顶部装有风口朝下的离子吹风机。作为优选的技术方案，所述气嘴、水嘴装于摆动气缸的气缸头上，所述摆动气缸支承在所述箱体底部。本技术的优点和有益效果在于上述硅片清洗干燥装置的结构中，在非工作状态时，所述电机座对所述夹持部分内部的永磁铁具有吸引力，所述夹持部分带动清洗刷嵌套于所述电机座上；工作状态时，机械手将待清洗的硅片传输至该装置的所述吸盘部位，所述吸盘吸吸住硅片后，所述电磁线圈通电，电磁感应产生于所述永磁线圈磁性相反的磁性，由于磁铁的异性相斥原理，所述夹持部分受到排斥力，导致所述夹持部分带动所述清洗刷嵌套装于所述吸盘，所述清洗刷的上端对硅片起到支承保护作用，由于所述夹持部分嵌套装于所述吸盘上，当所述电机带动所述吸盘转动时，所述夹持部分随着所述吸盘同步转动，所述清洗刷也同步转动，故在电机整个的转动过程中，所述清洗头对硅片的支承保护作用一直存在，所述气嘴、水嘴工作时，由于硅片整个平面都有支承，故能确保其不被损坏。附图说明图1为本技术硅片清洗干燥装置的主视结构示意图；图2为本技术硅片清洗干燥装置中清洗头结构放大示意图。图中:1、吸盘；2、电机座；3、电机；4、气嘴；5、水嘴；6、清洗头；7、夹持部分；8、清洗刷；9、永磁铁；10、电磁线圈；11、锥形面；12、锥形槽；13、锥形面；14、硅片；15、箱体；16、 橡胶垫；17、空腔；18、下隔离罩；19、驱动气缸；20、上隔离罩；21、离子吹风机；22、摆动气缸；23、旋转接头。具体实施方式以下结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。如图1、图2，本技术是一种硅片清洗干燥装置，它包括固定部分和清洗干燥部分，固定部分包括吸盘1、电机座2、电机3，清洗干燥部分包括气嘴4、水嘴5，与电机3输出端连接的吸盘。在吸盘1与电机座2的连接处套装有清洗头6，清洗头6包括夹持部分7、清洗刷 8，清洗刷8装于夹持部分7上端面，夹持部分7与电机座2、吸盘1的接触处分别为嵌套配合，夹持部分7内部安装有永磁铁9，电机座2的上端面的内部安装有电磁线圈10。电机座2的上部为锥形面11，夹持部分7底部开有与锥形面11相配合的锥形槽 12，吸盘1与夹持部分7的接触处为锥形面13、或为齿形面，夹持部分7上部设有与吸盘1 相配合的锥形槽、或齿形槽；永磁铁9的N极朝下，电磁线圈10为逆时针螺旋安装(或永磁铁9的S极朝下， 电磁线圈10为顺时针螺旋安装)；电机座2与外部的箱体15相连接，固定部分支承于箱体15 ；箱体15底部装有橡胶垫16，箱体15的非支承固定部分的空腔17内装有下隔离罩 18，下隔离罩18 —侧连接驱动气缸19的气缸头；下隔离罩18的上部配合装有上隔离罩20，上隔离罩20内装有清洗干燥部分，上隔离罩20顶部装有风口朝下的离子吹风机21 ；气嘴4、水嘴5安装于摆动气缸22的气缸头，摆动气缸22的气缸架支承于箱体15 底部。图中14为硅片，23为旋转接头。其工作原理如下非工作状态时，电机座2对夹持部分7内部的永磁铁9具有吸引力，夹持部分7带动清洗刷8嵌套于电机座2的锥形面11上，上隔离罩20、下隔离罩18处于分离状态；工作状态时，机械手将待清洗的硅片传输至吸盘1部位，吸盘1吸住硅片后，机械手脱离，驱动气缸19驱动下隔离罩18上升，直至下隔离罩18与上隔离罩20形成一个密闭空间，离子吹风机21开启，向装置送入负离子气流，电磁线圈10通电，由于电磁感应，电磁线圈10产生磁性且与夹持部分7内部的永磁铁9异性相斥，从而清洗头6在斥力作用下嵌套于吸盘的锥形面13、齿面上，清洗刷8支撑硅片下端面，气嘴4、水嘴5工作，清洗硅片的磨削面，电机3带动吸盘1、清洗头6、硅片转动，完成清洗干燥工作。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。权利要求1.一种硅片清洗干燥装置，所述装置包括硅片固定部分和清洗干燥部分，所述硅片固定部分包括吸盘、电机座和电机，所述清洗干燥部分包括气嘴、水嘴，所述电机的输出端与所述吸盘连接，其特征在于，在所述吸盘与电机座的连接处套装有清洗头，所述清洗头包括夹持部分和清洗刷，所述清洗刷装于所述夹持部分的上端面，所述夹持部分与所述电机座、 吸盘的接触处分别为嵌套配合，在所述夹持部分内部装有永磁铁，在所述电机座的上端面的内部安装有电磁线圈。2.如权利要求1所述硅片清洗干燥装置，其特征在于，所述电机座的上部为锥形面，所述夹持部分底部设有与所述锥形面相配合的锥形槽，所述吸盘与所述夹持部分的接触处为锥形面、或为齿面，在所述夹持部分的上部设有与所述吸盘相配合的锥形槽、或齿形槽。3.如权利要求1所述硅片清洗干燥装置，其特征在于，所述永磁铁的N极朝下，所述电磁线圈为逆时针螺旋安装。4.如权利要求1所述硅片清洗干燥装置，其特征在于，所述永磁铁的S极朝下，所述电磁线圈为顺时针螺旋安装。5.如权利要求1或2本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：沈彪，李向清，胡德良，
申请(专利权)人：江阴市爱多光伏科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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