【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片加工设备，具体涉及一种硅片输送中的吸盘结构。
技术介绍
目前的硅片装片都要通过人工装入篮具内，这样既容易对硅晶片造成人为污染， 又增加工人的劳动强度，无法提高工作效率。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中存在的缺陷，提供一种工作效率高、不需人工操作，对硅片位置转移方便且安全的硅片装片输送吸盘结构。为实现上述目的，本技术的技术方案是设计一种硅片输送中的吸盘结构，所述吸盘结构包括吸盘固定板，其特征在于，吸盘固定板固定连接在升降机构上，在所述吸盘固定板上固定设置有三只吸盘脚，在所述吸盘脚上设有高度调节杆，在所述吸盘脚的底部设有吸盘，所述吸盘通过吸盘脚的中空通道与吸气管相连接。其中，所述升降机构为气动升降机构，或为螺旋升降机构；所述气动升降机构包括气缸与活塞相配合的升降部件；所述螺旋升降机构包括丝杠与螺母相配合的升降部件。本技术的优点和有益效果在于该硅片输送吸盘结构，由于三只脚设置，并且具有对脚的高度调整，由此，能够方便地使硅片与吸盘调节在同一水平面上，使之在吸合移动过程中稳定地吸住硅片，保证了硅片在移动过程中的安全性。将该硅片装片输送吸盘结构用于硅片的自动装片设备上，将既安全又快速的完成硅片的自动装片。附图说明图1是本技术实施例1结构示意图。图中1、升降气缸；2、吸气管；3、吸盘固定板；4、吸盘；5、硅片；6、吸盘脚；7、高度调节杆。具体实施方式以下结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。实施例如图1所示，本实施例描述的一种硅片输送吸盘结构，它包括...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：沈彪，李向清，胡德良，
申请(专利权)人：江阴市爱多光伏科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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