细微结构物的蒸镀装置以及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及细微结构物的蒸镀装置以及方法。具有：表面弹性波元件（１０），具有隔开间隔而位于压电体（１１）的表面的至少一对电极（１２、１３）；真空蒸镀装置（２０），能够在表面弹性波元件的表面真空蒸镀两种以上的物质Ａ、Ｂ；以及高频施加装置（３０），在表面弹性波元件的电极间施加高频电压，在利用所述高频电压的施加而表面弹性波元件的表面产生表面弹性波的驻波的状态下构成多个薄膜层，在驻波的特定位置蒸镀细微结构物。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及将细微结构物形成在预定的位置上的。
技术介绍
富勒烯(C6tl)是碳的同位素之一，构成其分子的碳原子的骨架是由正五边形和正六边形的组合构成的封闭多面体结构。公知这样的富勒烯或碳纳米管等的功能性分子具有各种功能。但是，功能性分子等的分子尺寸非常小(在富勒烯的情况下，直径约为Inm)，正确地控制其位置是非常困难的。因此，作为将这样的细微结构物形成在预定的位置上的位置控制手段，本专利技术的申请人先前专利技术且申请了专利文献1。并且，作为其他的细微结构物的位置控制手段，公开了专利文献2、3。专利文献1的目的在于高精度地控制细微结构物的位置或形成细微结构物的结构要素间的相对位置，如在图1中示意性地所示的那样，在基板1的表面产生表面弹性波的驻波2，利用该驻波来设定细微结构物的材料(量子点3)所附着的位置即细微结构物的位置。并且，在该图中，4是电极。日本特开2006-332227号公报，“微細構造物作製方法及t/装置”。日本特开2008-260073号公报，“微細構造体們配列方法及t/微細構造体&配列L· t基板、並t/ ^集積回路装置及t/表示素子”。日本特许第41922本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种细微结构物的蒸镀装置，其特征在于，具有：表面弹性波元件，具有隔开间隔而位于压电体的表面的至少一对电极；真空蒸镀装置，能够在该表面弹性波元件的表面真空蒸镀两种以上的物质；以及高频施加装置，在表面弹性波元件的所述电极间施加高频电压，在利用所述高频电压的施加而在表面弹性波元件的表面产生表面弹性波的驻波的状态下，构成多个薄膜层，在所述驻波的特定位置蒸镀细微结构物。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：重田谕吉，
申请(专利权)人：株式会社IHI，
类型：发明
国别省市：JP