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本发明涉及细微结构物的蒸镀装置以及方法。具有：表面弹性波元件（１０），具有隔开间隔而位于压电体（１１）的表面的至少一对电极（１２、１３）；真空蒸镀装置（２０），能够在表面弹性波元件的表面真空蒸镀两种以上的物质Ａ、Ｂ；以及高频施加装置（３０）...
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