有机化合物蒸汽发生装置及有机薄膜制造装置制造方法及图纸

提供一种在发生槽内产生的有机化合物蒸汽不会倒流到将有机化合物向发生槽供给的内侧连接管中的技术。在具有配置有机材料的储存槽（３１）、将有机材料加热而产生有机材料的蒸汽的发生槽（３３）、和将储存槽（３１）内的有机材料向发生槽（３３）供给的输送装置（３２）的有机薄膜制造装置（１）中，输送装置（３２）设有：外侧连接管（３７），将储存槽（３１）的内部环境与发生槽（３３）的内部环境气密地连接；气体导入口（４２），将气体导入到配置在外侧连接管（３７）的内部中而使有机材料从储存槽（３１）内部移动到发生槽（３３）内部的由石英构成的内侧连接管（３８）的内部中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于制造有机EL的蒸发源和有机EL制造装置。
技术介绍
图3所示的以往的蒸汽发生装置130具有储存槽131、输送装置132、和发生槽 133。在储存槽131的内部中，铅直地配置有漏斗形状的漏斗容器134。漏斗容器134具有倒圆锥形状的漏斗斜面129、和作为与漏斗形状的中央位置的孔连接的管的管状插入部 128。管状插入部128向铅直下方延伸，从比管状插入部128的上端靠还上方的位置直到管状插入部128的内部，铅直地插通有计量棒135。在储存槽131的下方配置有发生槽133，输送装置132配置在储存槽131与发生槽 133之间。输送装置132具有外侧连接管137，外侧连接管137的上端安装在储存槽131的底面上，下端安装在发生槽133的顶板上，储存槽131的内部与发生槽133的内部通过外侧连接管137连接。管状插入部1 插入在外侧连接管137中。对漏斗容器134供给有机材料，使有机材料从形成在计量棒135上的螺纹槽的下端向下方落下，则通过漏斗容器134的管状插入部128内而落下到发生槽133的底面上，通过配置在发生槽133的底面上的发热体139将有机材料加热，产生有机材本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．　一种有机化合物蒸汽发生装置，具有配置有机材料的储存槽、将上述有机材料加热而产生上述有机材料的蒸汽的发生槽、和将上述储存槽内的上述有机材料供给到上述发生槽中的输送装置，所述有机化合物蒸汽发生装置中，上述输送装置具有：连接配管，将上述储存槽的内部环境与上述发生槽的内部环境气密地连接，使上述储存槽内的上述有机材料通过而移动到上述发生槽内；气体导入口，形成于上述连接配管，若与供给气体的气体导入系统连接则将上述气体导入到上述连接配管内。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：根岸敏夫，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：JP