CIGS太阳能电池制程的设备及方法技术

本发明专利技术提供一种用于CIGS太阳能电池制程的设备及方法，包含缓冲腔体、第一腔体、第二腔体以及机械装置。该第一腔体邻设于该缓冲腔体并具有一镀膜沉积装置；该第二腔体邻设于该缓冲腔体并具有一热处理装置。该热处理装置包含一基座、一储存槽、一第一加热器、一导引管以及一盖板。该基座用以定位一基板。储存槽位于第二腔体外，用以容置一熔融材料；该第一加热器用以加热熔融材料；该导引管一端枢接储存槽，另一端位于第二腔体中。盖板设置于导引管位于第二腔体中的开口端所对应处，其中盖板还设有一可调式开孔。该机械装置用以带动基板往复移动于缓冲腔体、第一腔体以及第二腔体间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于一种太阳能电池制程的设备，详而言之，特别是指一种用于CIGS 太阳能电池制程的设备。
技术介绍
由于地球能源短缺与暖化现象的问题日趋严重，全世界开始致力于能源开发的研究，太阳能更为个中首选，而硅是目前最广泛运用于太阳能电池的材料，但为降低成本与提高光电转换效率，其中又以CIGS太阳能电池为近年来发展最快速的太阳能电池。已知用于CIGS太阳能电池制程的设备例如美国专利号码第7194197号所揭露的 Nozzle-based， vapor-phase, plume delivery structure for use inproduction of thin-film deposition layer，其中该熔融半导体材料必然被牵制于基材传输速度，且该设备并无设置足以筛选材料分子的装置，导致无法控制沉积的均布性与等效性；又如美国专禾丨J号码第 7442413 号所揭露的Methods andapparatus for treating a work piece with a vaporous element，其中除上述的问题外，还会产生硒化氢高毒性气体，且该设备使用一本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于ＣＩＧＳ太阳能电池制程的设备，其特征在于，包含：一缓冲腔体；一第一腔体，邻设于该缓冲腔体并具有一镀膜沉积装置；一第二腔体，邻设于该缓冲腔体并具有一热处理装置，其中该热处理装置包含：一基座，用以定位一基板；一储存槽，设于该第二腔体外，用以容置一熔融材料；一第一加热器，用以加热该熔融材料；以及一导引管，该导引管的一端枢接于该储存槽，另一端位于该第二腔体中；以及一盖板，该盖板设置于该导引管位于该第二腔体中的开口端所对应处，其中该盖板还设有一可调式开孔；一机械装置，用以带动该基板往复移动于该缓冲腔体、该第一腔体以及该第二腔体间。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李延炜，
申请(专利权)人：冠晶光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71