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本发明提供一种用于CIGS太阳能电池制程的设备及方法，包含缓冲腔体、第一腔体、第二腔体以及机械装置。该第一腔体邻设于该缓冲腔体并具有一镀膜沉积装置；该第二腔体邻设于该缓冲腔体并具有一热处理装置。该热处理装置包含一基座、一储存槽、一第一加热器...
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