蒸镀头及成膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种蒸镀头以及具有该蒸镀头的成膜装置，不仅对以往的小型基板还对大型基板也能够使在各个部位的喷射量均等，并且喷射确保均热性的材料气体，从而可以形成均匀的薄膜。蒸镀头被设置在对基板形成薄膜的蒸镀处理内，使材料气体向基板喷出，该蒸镀头具有外侧壳体、和配置在所述外侧壳体内并导入材料气体的内侧壳体，在所述内侧壳体中形成有使材料气体向基板喷射的开口部，在所述外侧壳体的外面或者所述外侧壳体与所述内侧壳体之间，配置有对材料气体进行加热的蒸镀头。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术 涉及例如在有机EL元件的制造中蒸镀有机膜所使用的蒸镀头及具有该蒸镀头的蒸镀处理装置。
技术介绍
近年，开发了利用电致发光(EL =Electro Luminnescence 电致发光)的有机EL 元件。有机EL元件与晶体管等相比具有消耗功率小的优点，而且，由于是自发光，所以还具有与液晶显示器(LCD)等相比视野角广等优点，现期待有机EL元件有进一步的发展。该有机EL元件的最基本的构造是在玻璃基板上将阳极(anode)层、发光层以及阴极(cathode)层重叠形成的三明治构造。为了使发光层的光向外界射出，使用由 ITOdndium Tin Oxide 氧化铟锡)构成的透明电极作为玻璃基板上的阳极层。该有机EL 元件一般是通过在其表面预先形成有ITO层(阳极层)的玻璃基板上，依次形成发光层和阴极层后，进一步再形成密封膜层制造而成的。上述的有机EL元件的制造通常是通过具备形成发光层、阴极层、密封膜层等膜的各种成膜处理装置和蚀刻装置等处理系统进行的。例如，作为形成上述发光层的方法，一般地，公知有从材料气体供给源向蒸镀头供给材料气体，并使材料气体从蒸镀头朝玻璃基板喷射并使其蒸镀的本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种蒸镀头，被设置在对基板形成薄膜的蒸镀处理装置内，向基板喷射材料气体，其具备外侧壳体、和被配置在所述外侧壳体内并导入材料气体的内侧壳体，在所述内侧壳体形成有使材料气体向基板喷射的开口部，在所述外侧壳体的外面或者所述外侧壳体与所述内侧壳体之间配置有对材料气体进行加热的加热器。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：小野裕司，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP