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有机化合物蒸汽发生装置及有机薄膜制造装置制造方法及图纸
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文档序号:7126040
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提供一种在发生槽内产生的有机化合物蒸汽不会倒流到将有机化合物向发生槽供给的内侧连接管中的技术。在具有配置有机材料的储存槽(31)、将有机材料加热而产生有机材料的蒸汽的发生槽(33)、和将储存槽(31)内的有机材料向发生槽(33)供给的输送装...
该专利属于株式会社爱发科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社爱发科授权不得商用。
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