对准台制造技术

本发明专利技术的对准台在基座（１）的上方配置保持作用有移动载荷的工件的台面（４ａ），在基座（１）与台面（４ａ）之间，在沿载荷移动方向（Ｌ）为交错配置的对应于台面（４ａ）的中央和四角部的部位上，夹装具备Ｘ、Ｙ、θ的３个自由度的支撑单元（１３）、和除了与支撑单元（１３）同样的结构以外还具有一轴方向的滚珠丝杠直线运动机构（９）的驱动单元（１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄ）。一方和另一方的对角位置的驱动单元（１４Ａ、１４Ｂ和１４Ｃ、１４Ｄ）使滚珠丝杠直线运动机构（９）正交配置。通过由各驱动单元（１４Ａ、１４Ｃ）、支撑单元（１３）、各驱动单元（１４Ｂ、１４Ｄ）连续地承接一边沿载荷移动方向（Ｌ）移动一边经由工件作用在台面（４ａ）上的移动载荷，抑制台面（４ａ）的变形。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对准台，特别涉及具备X、Y、Θ的3个自由度、用于进行承受移动载荷的工件的对准的对准台。本申请基于2009年5月26日在日本提出申请的特愿2009 — 126034号主张优先权，这里引用其内容。
技术介绍
近年来，作为将液晶显示器等的电极图案(导电图案)形成在需要的基板上的方法，提出来代替通过金属蒸镀膜的蚀刻等进行的微细加工而使用导电性膏作为印刷墨的印刷技术、例如使用凹版胶印印刷技术在基板上印刷形成电极图案的方法(例如，参照专利文献1、专利文献2)。在将上述电极图案那样的精细的印刷图案胶印印刷到上述基板那样的平板状的印刷对象上的情况下，要求较高的印刷精度。因此，作为进行较高的印刷精度的胶印印刷的情况下的胶印印刷装置，使用与印刷对象同样的平板状的版的形式的平板印刷装置是有利的。一般，在使用平板状的版和印刷对象实施胶印印刷的情况下，一边将旋转的橡皮辊以需要的接触压力相对于预先上墨的版推抵一边使其相对于该版相对移动。由此，从上述版向上述橡皮辊的表面转印(受理)墨。接着，在使该橡皮辊旋转的状态下，将其一边以需要的接触压力推抵在上述印刷对象上，一边相对于印刷对象相对移动。由此，从上述橡皮辊向印刷对象的表面再转印(印刷)墨，将上述版的印刷图案再现到上述印刷对象的表面上。当将印刷对象依次替换为新的对象而进行印刷作业时，如果在各印刷对象中发生设置位置的位置偏差，则发生印刷位置的再现性下降的问题。此外，版通过在印刷中使用而逐渐磨损(消耗)。因此，需要每隔需要的印刷次数或印刷时间而更换。此外，当进行叠印时需要版的更换。如果随着这样的版的更换而更换后的版的设置位置相对于更换前的版的设置位置发生位置偏差，则印刷位置的再现性下降。如果发生上述那样的起因于印刷对象或版的设置位置的位置偏差的印刷位置的再现性的下降，则在胶印印刷电极图案那样的精细的印刷图案的情况下有可能不能满足所需的较高的印刷精度。为了避免上述问题，可以考虑使在胶印印刷中使用的上述版或印刷对象保持在对准台上、对每个版及每个印刷对象在印刷作业开始前进行对准。通过该对准，将版或印刷对象的设置位置的位置偏差修正，提高位置的再现性，以使版或印刷对象对橡皮辊的接触位置每次都相同。由此，考虑能够提高从版经由橡皮辊印刷到印刷对象上的印刷图案的位置的再现性。为了避免上述问题，还可以考虑使用对准台进行上述版或印刷对象的位置修正。 如果使用对准台，则在发生了起因于设计误差等的现象、例如在旋转的橡皮辊的外周面的移动方向(与橡皮辊的轴心成直角的方向)、和将橡皮辊一边推抵在版或印刷对象上一边相对移动时的相对移动方向上发生倾斜或偏差的情况下，或者在橡皮辊上存在偏心、或者在以一定的旋转速度旋转的橡皮辊的圆周速度中发生变动的情况下，能够一边使橡皮辊对保持在对准台上的版或印刷对象接触、一边使版或印刷对象追随于橡皮辊的外周面上的接触部分的运动而移动。在液 晶显示器或半导体的制造工序中，需要确保层叠的部件及层的叠合精度。为此，作为用来进行工件的XY正交坐标平面上的配置、和旋转角度θ的对准的对准台，例如使用图8及图9所示那样的对准台。图8及图9所示的对准台在固定侧的基座1的四角部分别设有1个支撑单元2和 3个驱动单元3A、3B、3C。此外，在支撑单元2及各驱动单元3A、3B、3C的上侧，载置安装作为移动侧的台面4的四角部。在支撑单元2上，以正交的姿势上下两级地重叠配置有由直线状的导轨6a、6b和可滑动地安装在导轨6a、6b上的导引块7a、7b构成的两个直线运动导引部5a和5b。在下级的直线运动导引部5a的导引块7a的上侧，安装着上级的直线运动导引部5b的导轨6b。 进而，在上级的直线运动导引部5b的导引块7b的上侧，安装有能够在水平面内旋转的旋转轴承8。由此，能够以作为支撑单元2的下端部的下级直线运动导引部5a的导轨6a为基准，在作为支撑单元2的上端部的旋转轴承8的顶部得到X、Y、θ的3个自由度。在支撑单元2中，下级直线运动导引部5a的导轨6a设置在基座1的对应的部位上。此外，在上述旋转轴承8的上侧，安装有上述台面4的对应的部位。各驱动单元3A、3B、3C在与支撑单元2同样的结构中，与下级直线运动导引部5a 的导轨6a平行地配置有由伺服马达10、连结在其输出轴上的丝杠轴11、和螺合在丝杠轴 11上的螺母部件12构成的滚珠丝杠直线运动机构9。滚珠丝杠直线运动机构9的螺母部件12连结在下级直线运动导引部5a的导引块7a上。由此，通过由滚珠丝杠直线运动机构 9的伺服马达10进行的上述丝杠轴11的正反转驱动，使上述螺母部件12沿着上述丝杠轴 11的轴心方向移动，由此能够与该螺母部件12 —体地使上述下级直线运动导引部5a的导引块7a沿着导轨6a的长度方向移动。各驱动单元3A、3B、3C在基座1的分别对应的部位上设有下级直线运动导引部5a 的导轨6a、和滚珠丝杠直线运动机构9。此外，在旋转轴承8的上侧，安装着上述台面4的对应的部位。此时，将各驱动单元3A、3B、3C中的两个驱动单元3A、3B的滚珠丝杠直线运动机构9的朝向(驱动方向)设为X轴方向，将剩下的1个驱动单元3C的滚珠丝杠直线运动机构9的朝向(驱动方向)设为Y轴方向，配置成各个驱动方向相互正交。根据以上的对准台，通过适当调节由各驱动单元3A、3B及3C具备的滚珠丝杠直线运动机构9进行的下级直线运动导引部5a的导引块7a的位置的保持和移动、以及该导引块7a的移动方向和其移动量，能够组合进行上述台面4的X — Y平面内的水平位移、和旋转角度θ的旋转位移。由此，能够对保持在上述台面4上的对准对象的未图示的工件进行 Χ、Υ、θ的3轴方向的对准(例如参照非专利文献1)。专利文献1 日本特许第2797567号公报， 专利文献2 日本特许第3904433号公报，非专利文献1 :ΤΗΚ株式会社，产品目录《对准台CMX》，2007年8月3日，目录号码238 —4。图8及图9所示的以往的对准台设想了在液晶显示器或半导体的制造工序的光过程中进行工件的对准。因此，没怎么考虑到施加载荷的情况。S卩，在使用平板状的版或印刷对象的胶印印刷中，使版或印刷对象保持在图8及图9所示的对准台上而进行对准，将版或印刷对象位置修正为希望的位置。接着，将旋转的橡皮辊一边以需要的接触压力推抵在保持于对准台上的版或印刷对象上，一边使其相对于该版或印刷对象相对移动。这样，载荷作用在保持着版或印刷对象的对准台上对应于版或印刷对象与橡皮辊的外周面的接触部分的沿该橡皮辊的轴心方向延伸的细长的带状的区域。该载荷作用的细长的带状的区域随着时间的推移而沿着橡皮辊相对于版或印刷对象的相对移动方向移动。因此，在对准台上作用有移动载荷。在图8及图9所示的对准台中，台面4由支撑单元2和驱动单元3A、3B、3C支撑其四角。因此，例如在作用在沿着Y轴方向延伸的细长的区域中的载荷作为沿X轴方向移动的移动载荷作用的情况下，如果该移动载荷作用在台面4的X轴方向的中间部、即支撑单元 2和驱动单元3A、3B、3C均未支撑的台面4的X轴方向的中间部上，则有可能因台面4的铅直方向的支撑刚性下降而台面4挠曲变形。通过该变形，有可能在保持于台面4之上的版或印刷对象等的未图示的工件上发生位置偏差。在图8及图9所示的对准台中本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．　一种对准台，其特征在于，具备：基座；台面，配置在上述基座的上方位置上，用来保持作用有移动载荷的工件；需要数量的支撑单元，由能够沿正交的两个方向滑动的导引部、和设在上述导引部上的旋转轴承构成，具备Ｘ、Ｙ、θ的３个自由度；以及至少３个驱动单元，由在该支撑单元的结构上还具备一轴方向的直线运动机构而构成；上述支撑单元和上述驱动单元以沿着上述移动载荷的移动方向的交错状的配置装备在上述基座与上述台面之间；使上述各驱动单元中的两个驱动单元的直线运动机构的驱动方向、与剩下的驱动单元的直线运动机构的驱动方向在Ｘ－Ｙ平面内正交。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：斎藤浩，
申请(专利权)人：株式会社IHI，
类型：发明
国别省市：JP