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本发明的对准台在基座（１）的上方配置保持作用有移动载荷的工件的台面（４ａ），在基座（１）与台面（４ａ）之间，在沿载荷移动方向（Ｌ）为交错配置的对应于台面（４ａ）的中央和四角部的部位上，夹装具备Ｘ、Ｙ、θ的３个自由度的支撑单元（１３）、和除了...
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