【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池硅片生产
，尤其涉及一种太阳能电池硅片扩散用尾气排放装置。
技术介绍
在太阳能电池硅片生产过程中，扩散工艺过程会产生残余的废气，必须将其从尾管排出。当P2O5经过尾管伸出段时，由于温度的骤降，与周围的水汽会发生反应生成稠状具腐蚀性的液体偏磷酸，化学反应式为P205+H20 = 2HP03。随着稠状偏磷酸在尾管壁的聚集， 经过的P2O5微晶颗粒有一部分会附着在稠状偏磷酸上并聚集生长，遇水汽时又会生成偏磷酸。不断附着的I32O5颗粒和生成的稠状HPO3形成类似混凝土状的大颗粒直至完全堵塞尾管，整个堵塞过程大概15至20天。同时在较高温度下，HP03会腐蚀石英管壁，虽然过程缓慢，但长期会导致尾管断裂的现象。现有技术中，尾管堵塞的方法主要是通过提高尾管伸出段的温度，阻止此处偏磷酸的生成，如用石英棉包裹尾管，但是40天后尾管仍被堵塞，虽然延长了被堵塞时间，但未能彻底解决试管堵塞问题。
技术实现思路
专利技术目的本技术的目的是为了解决现有技术的不足，提供一种能保持尾管通畅、防止尾管管壁腐蚀的太阳能电池硅片扩散用尾气排放装置。技术方案为了实现以上目的，本技术...
【技术保护点】
１．一种太阳能电池硅片扩散用尾气排放装置，其特征在于：其包括三通管和排风管，所述三通管的第一支管与尾管相连，所述三通管的第二支管与所述排风管相连。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：沈少杰，
申请(专利权)人：苏州矽美仕绿色新能源有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32
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