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本实用新型公开了一种太阳能电池硅片扩散用尾气排放装置，其包括三通管和排风管，三通管的第一支管与尾管相连，三通管的第二支管与排风管相连。本实用新型提供的太阳能电池硅片扩散用尾气排放装置，在每次扩散工艺后通过向该装置三通管的主管中通入流速较高的...
该专利属于苏州矽美仕绿色新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州矽美仕绿色新能源有限公司授权不得商用。

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