【技术实现步骤摘要】
根据本专利技术的实施例的一个或多个方面涉及薄膜沉积设备和使用这种薄膜沉积设备制造有机发光显示装置的方法。
技术介绍
与其它显示装置相比，有机发光显示装置具有较大的视角、较好的对比度特性和较快的响应速度，因此有机发光显示装置作为下一代显示装置已引起关注。有机发光显示装置可以包括中间层，并且中间层可以包括置于第一电极和第二电极之间的发射层，其中第一电极和第二电极彼此相对布置。电极和中间层可以经由各种方法形成，其中的一个方法可以是独立的沉积方法。当通过使用沉积方法制造有机发光显示装置时，具有与待形成的薄膜相同的图案的精细金属掩膜(FMM)被设置为紧密接触基板， 并且薄膜材料被沉积在FMM上，以便形成具有期望图案的薄膜。然而，使用这种FMM的这种沉积方法不适合制造使用大的母体玻璃(例如，大小为 5G或更大的母体玻璃)的较大装置。换言之，当使用这种大掩膜时，掩膜会由于其自身的重量而弯曲，从而使图案扭曲。这不利于向高分辨率图案发展的当前趋势。
技术实现思路
为了解决使用精细金属掩膜(FMM)的当代沉积方法的问题，根据本专利技术实施例的一个或多个方面提供一种薄膜沉积设备和使用这种...
【技术保护点】
１．一种薄膜沉积设备，用于在基板上形成薄膜，所述设备包括：沉积源，用于释放沉积材料；沉积源喷嘴单元，被设置在所述沉积源的一侧，所述沉积源喷嘴单元包括布置在第一方向上的多个沉积源喷嘴；以及图案化狭缝片，与所述沉积源喷嘴单元相对设置，所述图案化狭缝片具有布置在与所述第一方向垂直的第二方向上的多个图案化狭缝，其中在所述基板相对于所述薄膜沉积设备在所述第一方向上移动时执行沉积，所述图案化狭缝片具有彼此隔开的第一对准标记和第二对准标记，所述基板具有彼此隔开的第一对准图案和第二对准图案，所述薄膜沉积设备进一步包括用于给所述第一对准标记和所述第一对准图案照相的第一照相机组件，和用于给所述...
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：柳在光，曹昌睦，康熙哲，
申请(专利权)人：三星移动显示器株式会社，
类型：发明
国别省市：KR
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