下载薄膜沉积设备及制造有机发光显示装置的方法的技术资料

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一种薄膜沉积设备及制造有机发光显示装置的方法,所述薄膜沉积设备可以在沉积工艺期间与基板精确对准。所述设备包括:沉积源;沉积源喷嘴单元,包括布置在第一方向上的多个沉积源喷嘴;以及图案化狭缝片,具有布置在与所述第一方向垂直的第二方向上的多个图案...
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