发光器件的制造方法技术

公开了一种发光器件的制造方法，它包括如下步骤：沿传递方向将一基材输送进入一个薄膜形成室，从而使该基材通过一蒸发护罩的上方，该蒸发护罩的上部具有至少一个开孔；加热位于该蒸发护罩下方蒸发源中的一种蒸发物质，从而在将该基材输送通过该蒸发护罩上方的同时使该蒸发物质从该蒸发护罩的所述开孔中逸出，在所述基材上形成一层含该蒸发物质的发光层；在形成所述发光层的过程中加热该蒸发护罩；所述开孔具有细长的形状，其细长的方向沿与所述传递方向垂直的第二方向排列。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种有机化合物和无机化合物的复合材料，这种材料具有优良的载流子传输性质和载流子注入有机化合物的性质，并具有优良的可见光透射比。本专利技术还涉及使用这种复合材料的电流激发的发光元件。本专利技术还涉及具有这种发光元件的发光装置。
技术介绍
近年来，已经对使用发光有机化合物的发光元件进行了大量研究并不断发展。这种发光元件的基本结构是一层夹在一对电极之间的含发光有机化合物的层。通过在该元件上施加电压，电子和空穴从这对电极分开注入该含发光有机化合物的层中，电子和空穴流动。然后，这些载流子(电子和空穴)重组，使该发光有机化合物形成激发态，该激发态回到基态时发射光。由于这种机理，这种发光元件称作电流激发发光元件。注意到，有机化合物的激发态可以是单激发态和三激发态。从单激发态发射的光称作荧光，从三激发态发射的光称作磷光。这种发光元件的一大优点是这种发光元件可制造得既薄重量又轻，因为可以用有机薄膜，例如厚度约0. 1微米的薄膜来形成该发光元件。此外，另一个优点是极高的响应速度，因为载流子注入和发光之间的时间间隔约为1微秒或更小。这些特性被认为适合于平板显示器元件。这种发光元件制成薄膜形。因此，通过形成大面积的元件就能容易地获得表面发射。以白炽灯为代表的点光源或以荧光灯为代表的线光源几乎不能达到这种特性。因此， 上述发光元件作为表面光源还具有高的实用价值，能应用于发光等。如上所述，期望能将使用发光有机化合物的电流激发的发光元件应用于发光装置、照明等。但是，仍有许多问题。其中一个问题是降低能耗。为降低能耗，很重要的是降低发光元件的驱动电压。由于电流激发的发光元件的发射强度取决于通过的电流量，因此必须使大量电流以低电压通过，以降低驱动电压。迄今，人们一直试图在电极和含发光有机化合物的层之间提供一层缓冲层，作为一种降低驱动电压的方法。例如，已知通过在氧化铟锡(ITO)和发光层之间形成一层掺杂樟脑磺酸的聚苯胺(PANI)的缓冲层，来降低驱动电压(例如，参考文献1:Y. Yang等， Applied Physics Letters,64(10)卷，第 1245-1247 页(1994))。据解释，这是因为 PANI 具有将载流子注入发光层的优良性质。注意到，在参考文献1中，作为缓冲层的PANI被视为是电极的一部分。然而，如参考文献1指出的，PANI存在的一个问题是其透射比随该缓冲层厚度增加而降低。具体而言，据报道，当厚度约为250nm时透射比小于70%。换句话说，存在的问题是用于缓冲层的材料本身的透明度；因此，不能有效提取在元件内部产生的光。根据参考文献2，试图串联连接发光元件(在参考文献2中称作发光单元)来提高一定电流密度下的发光度，即电流效率(参考文献2 :日本专利公开No. 2003-272860)。 在参考文献2中，在串联连接发光元件时，在连接部位使用有机化合物和金属氧化物(具体地，钒氧化物和铼氧化物)的混合层，并假设这种混合层能在发光单元中注入空穴和电子。然而，如从这种实施方式中所能理解的，参考文献2揭示的有机化合物和金属氧化物的混合层在可见光区(500nm附近)以及红外区有较强的吸收峰，因此也存在透明度的问题。结果，终究不能有效提取以及内部产生的光，降低元件的发光效率。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是提供一种有机化合物和无机化合物的复合材料，这种复合材料具有优良的载流子传输性质和载流子注入有机化合物的性质，并具有优良的可见光透射比。本专利技术另一个目的是提供一种在电流激发发光元件中使用上述复合材料的低驱动电压的发光元件。还有一个目的是提供用这种发光元件制造的低能耗的发光装置。经过专门测试后，本专利技术人发现，使用含有机化合物和对该有机化合物显示接受电子性质的无机化合物的层可以达到上述目的。换句话说，本专利技术复合材料的一个特征是包含由通式(1)表示的咔唑衍生物和对由通式(1)表示的该咔唑衍生物显示接受电子性质的无机化合物。权利要求1.一种，它包括如下步骤沿传递方向将一基材输送进入一个薄膜形成室，从而使该基材通过一蒸发护罩的上方，该蒸发护罩的上部具有至少一个开孔；加热位于该蒸发护罩下方蒸发源中的一种蒸发物质，从而在将该基材输送通过该蒸发护罩上方的同时使该蒸发物质从该蒸发护罩的所述开孔中逸出，在所述基材上形成一层含该蒸发物质的发光层；在形成所述发光层的过程中加热该蒸发护罩；所述开孔具有细长的形状，其细长的方向沿与所述传递方向垂直的第二方向排列。2.一种，它包括如下步骤沿传递方向将一基材输送进入一个薄膜形成室，从而使该基材通过一蒸发护罩的上方，该蒸发护罩的上部具有至少一个开孔，沿与所述传递方向垂直的第二方向，该蒸发护罩具有一宽度；加热位于该蒸发护罩下方蒸发源中的一种蒸发物质，从而在将该基材输送通过该蒸发护罩上方的同时使该蒸发物质从该蒸发护罩的所述开孔中逸出，在所述基材上形成一层含该蒸发物质的发光层；在形成所述发光层的过程中加热该蒸发护罩；该蒸发护罩沿所述第二方向具有一宽度，该蒸发护罩的宽度大于所述基材的宽度。3.一种，它包括如下步骤沿传递方向将一基材输送进入一个薄膜形成室，从而使该基材通过一蒸发护罩的上方，该蒸发护罩的上部具有至少一个开孔，沿与所述传递方向垂直的第二方向，该蒸发护罩具有一宽度；加热位于该蒸发护罩下方蒸发源中的一种蒸发物质，从而在将该基材输送通过该蒸发护罩上方的同时使该蒸发物质从该蒸发护罩的所述开孔中逸出，在所述基材上形成一层含该蒸发物质的发光层；在形成所述发光层的过程中加热该蒸发护罩；在形成所述发光层的过程中沿所述第二方向移动所述蒸发源；该蒸发护罩沿所述第二方向具有一宽度，该蒸发护罩的宽度大于所述基材的宽度。4.一种，它包括如下步骤沿传递方向输送一基材，从而使该基材通过一个第一蒸发护罩和一个第二蒸发护罩的上方，所述第一蒸发护罩的上部具有至少一个开孔，所述第二蒸发护罩的上部具有至少一个开孔；加热位于所述第一蒸发护罩下方第一蒸发源中的一种第一蒸发物质，从而在将该基材输送通过所述第一蒸发护罩上方的同时使该第一蒸发物质从该第一蒸发护罩的所述开孔中逸出，在所述基材上形成一层含所述第一蒸发物质的第一层； 在形成所述第一层的过程中加热该第一蒸发护罩；加热位于所述第二蒸发护罩下方第二蒸发源中的一种第二蒸发物质，从而在将该基材输送通过所述第二蒸发护罩上方的同时使该第二蒸发物质从该第二蒸发护罩的所述开孔中逸出，在所述第一层上形成一层含所述第二蒸发物质的第二层； 在形成所述第二层的过程中加热该第二蒸发护罩；所述第一层和所述第二层中的一层是一层发光层；所述第一蒸发护罩和所述第二蒸发护罩的所述开孔各自具有细长的形状，其细长的方向沿与所述传递方向垂直的第二方向排列。5.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于加热所述蒸发护罩的步骤受一计算机控制。6.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于所述薄膜形成室通过一个门与一个沉降室相连，从而在将带有蒸发物质的蒸发源置于所述沉降室中时，无需使该薄膜形成室内部的压力为大气压力。7.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于所述加热蒸发源的步骤是由电阻加热实现的。8.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于所述蒸发护罩的上部具有多个开孔。9.如权利要求1-3中任一项所述的方本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种发光器件的制造方法，它包括如下步骤：沿传递方向将一基材输送进入一个薄膜形成室，从而使该基材通过一蒸发护罩的上方，该蒸发护罩的上部具有至少一个开孔；加热位于该蒸发护罩下方蒸发源中的一种蒸发物质，从而在将该基材输送通过该蒸发护罩上方的同时使该蒸发物质从该蒸发护罩的所述开孔中逸出，在所述基材上形成一层含该蒸发物质的发光层；在形成所述发光层的过程中加热该蒸发护罩；所述开孔具有细长的形状，其细长的方向沿与所述传递方向垂直的第二方向排列。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：岩城裕司，瀬尾哲史，熊木大介，中島晴惠，小島久味，
申请(专利权)人：株式会社半导体能源研究所，
类型：发明
国别省市：JP