一种多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统，包括依次配合设置在空气入口与多晶硅还原炉的进风口之间的初效过滤器、鼓风机、风机静压箱、亚高效过滤器、高效过滤器与空气换热器。本实用新型专利技术所述多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统，可以克服现有技术中体积大、结构复杂、使用不方便、稳定性差与工作效率低等缺陷，以实现体积小、结构简单、使用方便、稳定性好与工作效率高的优点。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅还原炉清洗技术，具体地，涉及一种多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统。
技术介绍
一般地，多晶硅还原炉(钟罩)在每完成一次还原结晶工艺后，需要用液体清洗还原炉(钟罩)的内壁。清洗完毕后，必须用洁净热空气(万级、十万级)将还原炉(钟罩)的内壁烘干。在实现本技术的过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在体积大、结构复杂、 使用不方便、稳定性差与工作效率低等缺陷。
技术实现思路
本技术的目的在于，针对上述问题，提出一种多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统，以实现体积小、结构简单、使用方便、稳定性好与工作效率高的优点。为实现上述目的，本技术采用的技术方案是一种多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统，包括依次配合设置在空气入口与多晶硅还原炉的进风口之间的初效过滤器、鼓风机、风机静压箱、亚高效过滤器、高效过滤器与空气换热器。进一步地，在所述空气换热器上设有热介质进口与热介质出口。进一步地，在所述多晶硅还原炉上设有出风口。本技术各实施例的多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统，由于包括依次配合设置在空气入口与多晶硅还原炉的进风口之间的初效过滤器、鼓风机、风机静压箱、 亚高效过滤器本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统，其特征在于，包括依次配合设置在空气入口与多晶硅还原炉的进风口之间的初效过滤器、鼓风机、风机静压箱、亚高效过滤器、高效过滤器与空气换热器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李毅光，孙以群，
申请(专利权)人：北京德高洁清洁设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11