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本实用新型公开了一种多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统,包括依次配合设置在空气入口与多晶硅还原炉的进风口之间的初效过滤器、鼓风机、风机静压箱、亚高效过滤器、高效过滤器与空气换热器。本实用新型所述多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统,可...该专利属于北京德高洁清洁设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京德高洁清洁设备有限公司授权不得商用。
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