【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种形成至少一个微机电系统的方法，包括：在衬底上形成多个分离导线；在该分离导线上形成牺牲腔体层；在该牺牲腔体层的上表面形成沟槽；用电介质材料填充该沟槽；以及在该牺牲腔体层和该电介质材料上沉积金属以形成梁，该梁具有从其底表面延伸的至少一个电介质缓冲器。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：迪恩当，泰多恩，杰弗里C马林，安东尼K斯塔姆珀，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：发明
国别省市：US
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