平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法技术方案

一种形成至少一个微机电系统（MEMS）的方法包括：在衬底上形成下布线层。该方法还包括：自下布线层形成多个分离布线（14）。该方法还包括：在多个分离布线之上形成电极梁（38）。电极梁和多个分离布线的形成的至少之一形成有最小化后续硅沉积（50）中的小丘和三相点的布局。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及半 导体结构及制造方法，特别是涉及平面腔体微机电系统(MEMS)结构、制造和设计结构的方法。
技术介绍
集成电路中所采用的集成电路开关可以由固态结构(例如，晶体管)或者无源布线(MEMS)形成。因为MEMS开关的近乎理想的隔离以及其在IOGHz以及更高频率上的低插入损耗(即阻抗)，所以通常采用MEMS开关，MEMS开关的近乎理想的隔离是将其用于功率放大器(PA)的模式转换的无线通讯应用的关键需求。MEMS开关可用于多种应用，主要为模拟和混合信号应用。一个这样的示例是移动电话芯片，其包含用于为每个广播模式调谐的电路和功率放大器(PA)。芯片上的集成开关将PA连接到适当的电路，从而不需要每个模式具有一个 PA。取决于特定的应用和工程标准，MEMS结构可具有许多不同的形式。例如，MEMS可以由悬臂梁结构的形式实现。在悬臂结构中，通过施加致动电压(actuation voltage)将悬臂(一个端部固定的悬置电极)拉向固定电极。通过静电力将悬置电极拉向固定电极所需的电压称为拉入电压(pull-involtage)，其取决于几个参数，包括悬置电极的长度、悬置电极和固定电极之间的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：GA邓巴，何忠祥，JC马林，WJ墨菲，AK斯坦珀，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：
国别省市：