一种复合分子泵的整体转子制造技术

本实用新型专利技术公开一种复合分子泵的整体转子，包括涡轮叶片级和沟槽拖动级，涡轮叶片级和沟槽拖动级为一整体结构。其优点是：涡轮叶片级和沟槽拖动级为一整体材料，涡轮叶片厚度自根部到边缘厚度逐渐减小，抽气沟槽自顶向下深度逐渐减小，转子固有频率远高于工作频率，使用高强度铝合金。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种复合分子泵的整体转子，包括涡轮叶片级和沟槽拖动级，其特征在于：所述的涡轮叶片级和沟槽拖动级为一整体结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郭盘林，
申请(专利权)人：上海三井真空设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31