本发明专利技术公开了一种溅射离子泵烘烤装置，包括离子泵泵体，离子泵泵体的泵腔为真空腔体，真空腔体内设有抽气单元，离子泵泵体上端中部固定安装有抽气通道，且抽气通道与真空腔体内部相通，抽气通道上端固定连接有真空法兰，离子泵泵体的真空腔体内部设有烘烤加热器。本发明专利技术的溅射离子泵烘烤装置将烘烤加热器置于离子泵泵体的泵腔内部，烘烤加热器直接对内泵体内壁烘烤加热，烘烤效率高，且烘烤加热器远离磁体，磁体不易高温退磁，这种就可以选用磁性更强而耐温稍低的磁体，溅射离子泵的烘烤加热器位于离子泵泵体的泵腔内部，对抽气单元的烘烤加热效果显著提高。烤加热效果显著提高。烤加热效果显著提高。
【技术实现步骤摘要】
一种溅射离子泵烘烤装置
[0001]本专利技术涉及溅射离子泵的
，尤其涉及一种溅射离子泵烘烤装置。
技术介绍
[0002]溅射离子泵是一种清洁无油的超高真空泵，广泛应用于现代尖端技术的超高真空领域中。包括原子能、核工业、粒子加速器、航空航天、宇宙模拟、表面物理、电子工业等高
溅射离子泵的优点是：1、无油、无振动和无噪声；2、使用简单可靠、寿命长和可烘烤；3、不需要冷剂，放置方向不限；4、在超高真空下仍然有较大抽速，极限真空度高(可达到10
‑9～10
‑
10
Pa)。
[0003]请参阅图1所示，传统溅射离子泵烘烤的加热方式是将加热器5安置于泵壳11和内泵体12之间，且泵壳11和内泵体12之间还安置有磁体和导磁体，加热器5产生的热量传到泵体内部慢。烘烤效率低；加热器5紧贴磁体，容易造成磁体高温退磁，另外，加热器5置于内泵体12外部，对内泵体12内部的抽气单元2的烘烤加热效果很差。
技术实现思路
[0004]针对上述产生的问题，本专利技术的目的在于提供一种溅射离子泵烘烤装置，解决了烘烤加热器烘烤效率低，且对抽气单元烘烤加热效果差的技术问题。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为：
[0006]一种溅射离子泵烘烤装置，包括离子泵泵体，所述离子泵泵体的泵腔为真空腔体，所述真空腔体内设有抽气单元，所述离子泵泵体上端中部固定安装有抽气通道，且所述抽气通道与所述真空腔体内部相通，所述抽气通道上端固定连接有真空法兰，所述离子泵泵体的真空腔体内部设有烘烤加热器。
[0007]上述的一种溅射离子泵烘烤装置，其中，所述烘烤加热器为铠装加热器、电热丝加热器、陶瓷加热器和半导体热敏电阻加热器中的一种。
[0008]上述的一种溅射离子泵烘烤装置，其中，所述烘烤加热器从所述离子泵泵体的外部引入所述离子泵泵体内，且所述烘烤加热器可以引入一根或多根。
[0009]上述的一种溅射离子泵烘烤装置，其中，所述烘烤加热器与所述离子泵泵体的内壁能够选择接触或不接触。
[0010]上述的一种溅射离子泵烘烤装置，其中，所述离子泵泵体的外形为多面图。
[0011]上述的一种溅射离子泵烘烤装置，其中，所述离子泵泵体包括泵壳和内泵体，所述内泵体设于所述泵壳内，所述真空腔体位于所述内泵体的内部。
[0012]上述的一种溅射离子泵烘烤装置，其中，所述烘烤加热器的形状为丝、棒、带、环或螺旋弹簧状。
[0013]本专利技术由于采用上述技术，使之与现有技术相比具有的积极效果是：
[0014]1、本专利技术的溅射离子泵烘烤装置将烘烤加热器置于离子泵泵体的泵腔内部，烘烤加热器直接对内泵体内壁烘烤加热，烘烤效率高，且烘烤加热器远离磁体，磁体不易高温退
磁，这样就可以选用磁性更强而耐温稍低的磁体。
[0015]2、本专利技术的溅射离子泵的烘烤加热器位于离子泵泵体的泵腔内部，对抽气单元的烘烤加热效果显著提高。
附图说明
[0016]图1是现有技术的溅射离子泵烘烤装置的内部结构示意图。
[0017]图2是本专利技术的溅射离子泵烘烤装置的俯视图。
[0018]图3是本专利技术的溅射离子泵烘烤装置的内部结构示意图。
[0019]附图标记：1、离子泵泵体；11、泵壳；12、内泵体；121、真空腔体；2、抽气单元；3、抽气通道；31、真空法兰；4、烘烤加热器；5、加热器。
具体实施方式
[0020]下面将结合本专利技术的附图和具体实施例，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0021]需要指出的是，本文提及的方位词“上”和“下”、“内”和“外”是以本专利技术的附图中零部件的相对位置为基准定义的，只是为了描述技术方案的清楚及方便，应当理解，此方位词的应用对本申请的保护范围不构成限制。
[0022]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体式连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0023]请参阅图2和图3所示，图2是本专利技术的溅射离子泵烘烤装置的俯视图，图3是本专利技术的溅射离子泵烘烤装置的内部结构示意图。
[0024]本专利技术实施例提供的一种溅射离子泵烘烤装置，包括离子泵泵体1，离子泵泵体1的泵腔为真空腔体121，真空腔体121内设有抽气单元2，离子泵泵体1上端中部固定安装有抽气通道3，且抽气通道3与真空腔体121内部相通，抽气通道3上端固定连接有真空法兰31，离子泵泵体1的真空腔体121内部设有烘烤加热器4，由于烘烤加热器4位于真空腔体121内部，因此烘烤加热器4对真空腔体121内壁和抽气单元2的加热效率更高，并且烘烤加热器4远离离子泵泵体1内的磁体，烘烤加热器4产生的热量损失小，磁体不易高温退磁，这样就可以选用磁性更强且耐温稍低的磁体。
[0025]其中，烘烤加热器4为铠装加热器、电热丝加热器、陶瓷加热器和半导体热敏电阻加热器中的一种或几种，电热丝加热器为传统的非铠装金属合金电热丝加热器。
[0026]与现有技术相比，本专利技术提供的一种溅射离子泵烘烤装置，在应用时，烘烤加热器4直接对真空腔体121内壁进行加热，烘烤效率高，且烘烤加热器4远离磁体，磁体不易高温退磁，这样可以选用磁性更强而耐温稍低的磁体，另外，烘烤加热器4与抽气单元2相邻，使其对抽气单元2的烘烤加热效果显著提高，由此可见，上述的烘烤加热器4引入真空腔体121内，增加了烘烤加热效率，结构简单，便于制造，有助于提高对抽气单元2的烘烤加热效果。
[0027]进一步地，烘烤加热器4从离子泵泵体1的外部引入离子泵泵体1内，且烘烤加热器4可以根据需要引入一根，也可以引入多根，本实施例中只选择局部的工作原理进行说明，烘烤加热器4的上端位于离子泵泵体1外部，便于接通电源。
[0028]进一步优化上述技术方案，烘烤加热器4与离子泵泵体1的内壁能够选择接触或不接触，当烘烤加热器4与离子泵泵体1的内壁选择接触时，烘烤加热器4与离子泵泵体1之间可以通过焊接连接，也可以不焊接。
[0029]在本专利技术的实施例中，离子泵泵体1的外形为多面体，优选为长方体，离子泵泵体1包括泵壳11和内泵体12，内泵体12设于泵壳11内，真空腔体121位于内泵体12的内部，真空腔体121为中空长方体，泵壳11和内泵体12之间具有间隙，间隙中设有磁体(图中未示出)。
[0030]还有，引入离子泵泵体1内的烘烤加热器4的形状为棒状，当然，实际并不局限于此，烘烤加热器4的形状还可以为丝状、带状、环状、弹簧状或者不规则的形状，如曲线型等等，在此不做限定。
[0031本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种溅射离子泵烘烤装置，包括离子泵泵体(1)，其特征在于：所述离子泵泵体(1)的泵腔为真空腔体(121)，所述真空腔体(121)内设有抽气单元(2)，所述离子泵泵体(1)上端中部固定安装有抽气通道(3)，且所述抽气通道(3)与所述真空腔体(121)内部相通，所述抽气通道(3)上端固定连接有真空法兰(31)，所述离子泵泵体(1)的真空腔体(121)内部设有烘烤加热器(4)。2.根据权利要求1所述的溅射离子泵烘烤装置，其特征在于，所述烘烤加热器(4)为铠装加热器、电热丝加热器、陶瓷加热器和半导体热敏电阻加热器中的一种。3.根据权利要求2所述的溅射离子泵烘烤装置，其特征在于，所述烘烤加热器(4)从所述离子泵泵体(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑主安，
申请(专利权)人：上海三井真空设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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