一种离子泵新型短抽口结构制造技术

本发明专利技术公开了一种离子泵新型短抽口结构，涉及离子泵的技术领域，包括离子泵泵体，离子泵泵体的泵腔为真空腔体，真空腔体内设有抽气单元，在离子泵泵体顶部向下开设有缺口；短抽气管道，短抽气管道沿竖向装配在离子泵泵体顶部，短抽气管道下端开口与真空腔体相连通，短抽气管道的顶部设有环形凸台；松套法兰，松套法兰可转动的套设在短抽气管道上。本发明专利技术的离子泵新型短抽口结构的离子泵泵体上开设缺口，增加了螺栓的操作空间，螺栓能够在缺口内向上插入松套法兰的螺栓孔中，进而能够缩短短抽气管道的长度，同时保证缺口和松套法兰之间的距离足够螺栓摆正螺栓，在缩短短抽气管道的长度后能够大大提高抽气管道的流导，显著提高了离子泵的抽速。

【技术实现步骤摘要】
一种离子泵新型短抽口结构
本专利技术涉及离子泵的
，尤其涉及一种离子泵抽口结构。
技术介绍
溅射离子泵是一种清洁无油的超高真空泵，广泛应用于现代尖端技术的超高真空领域中。包括原子能、核工业、粒子加速器、航空航天、宇宙模拟、表面物理、电子工业等高
溅射离子泵的优点是：1、无油、无振动和无噪声；2、使用简单可靠、寿命长和可烘烤；3、不需要冷剂，放置方向不限；4、在超高真空下仍然有较大抽速，极限真空度高(可达到10-9～10-10Pa)。传统溅射离子泵的抽气管道是呈圆柱形抽气管道，抽气管道的上端连接泵口法兰，在泵口法兰与待抽气的大容器的接口法兰连接时，需要使用螺栓从泵口法兰下方穿过泵口法兰上的螺栓孔，再将泵口法兰和接口法兰紧固连接，因此从泵口法兰下方安装螺栓需要一定的空间(泵口法兰与离子泵泵体之间需要一定的螺栓操作空间)，导致抽气管道的长度无法缩短(当抽气管道长度小于螺栓长度时，螺栓无法从泵口法兰下方穿过泵口法兰上的螺栓孔)，抽气通道的长度过大会导致抽气通道的流导大大降低，使得离子泵的抽速被极大限制。
技术实现思路
针对上述产生的问题，本专利技术的目的在于提供一种离子泵新型短抽口结构，解决了抽气通道流导低及离子泵的抽速受限制的技术问题。为了实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为：一种离子泵新型短抽口结构，包括：离子泵泵体，所述离子泵泵体的泵腔为真空腔体，所述真空腔体内设有抽气单元，在所述离子泵泵体顶部一侧向下开设有缺口，所述缺口内能够容纳螺栓；短抽气管道，所述短抽气管道沿竖向装配在所述离子泵泵体顶部，所述短抽气管道下端开口与真空腔体相连通，所述短抽气管道的顶部设有环形凸台；松套法兰，所述松套法兰可转动的套设在所述短抽气管道上，所述环形凸台能够卡设在所述松套法兰的圆形凹槽内，所述松套法兰能够沿着所述短抽气管道在所述环形凸台和所述离子泵泵体之间滑动，所述环形凸台能够阻挡所述松套法兰脱离所述短抽气管道，所述松套法兰与待抽气的密闭容器的接口法兰对接，所述缺口内的螺栓能够向上穿过所述松套法兰和所述接口法兰的螺栓孔，将所述松套法兰和所述接口法兰紧固连接。上述的一种离子泵新型短抽口结构，其中，所述短抽气管道的外形为圆柱形，所述短抽气管道内部为气道，所述气道与所述真空腔体相连通。上述的一种离子泵新型短抽口结构，其中，所述松套法兰上的若干螺栓孔呈圆周阵列，所述松套法兰围着所述短抽气管道发生旋转时，所述松套法兰上的若干螺栓孔均经过所述缺口的正上方。上述的一种离子泵新型短抽口结构，其中，所述环形凸台的直径大于所述短抽气管道的直径，使得所述环形凸台和所述短抽气管道之间呈大体T字型布置。上述的一种离子泵新型短抽口结构，其中，所述环形凸台沉入所述圆形凹槽时，所述环形凸台上端面和所述松套法兰上端面相齐平。上述的一种离子泵新型短抽口结构，其中，所述缺口不贯穿所述离子泵泵体，所述缺口的形状为半圆柱形或长方形。优选地，所述离子泵泵体的外形为多面体。优选地，所述离子泵泵体包括泵壳和内泵体，所述内泵体设于所述泵壳内，所述内泵体的泵腔为所述真空腔体。本专利技术由于采用上述技术，使之与现有技术相比具有的积极效果是：本专利技术的离子泵新型短抽口结构的离子泵泵体上开设缺口，增加了螺栓的操作空间，螺栓能够在缺口内向上插入松套法兰的螺栓孔中，进而能够缩短短抽气管道的长度，同时保证缺口和松套法兰之间的距离足够螺栓摆正螺栓，在缩短短抽气管道的长度后能够大大提高抽气管道的流导，显著提高了离子泵的抽速。附图说明图1是本专利技术的离子泵新型短抽口结构的结构示意图。图2是本专利技术的离子泵新型短抽口结构的俯视示意图。图3是本专利技术的松套法兰的示意图。图4是本专利技术的短抽气管道的示意图。附图标记：1、离子泵泵体；11、泵壳；12、内泵体；121、真空腔体；13、缺口；2、抽气单元；3、短抽气管道；31、环形凸台；32、气道；4、松套法兰；41、圆形凹槽；42、螺栓孔；5、螺栓。具体实施方式下面将结合本专利技术的附图和具体实施例，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。需要指出的是，本文提及的方位词“上”和“下”、“内”和“外”是以本专利技术的附图中零部件的相对位置为基准定义的，只是为了描述技术方案的清楚及方便，应当理解，此方位词的应用对本申请的保护范围不构成限制。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体式连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。请参阅图1、图2、图3和图4所示，图1是本专利技术的离子泵新型短抽口结构的结构示意图，图2是本专利技术的离子泵新型短抽口结构的俯视示意图，图3是本专利技术的松套法兰的示意图，图4是本专利技术的短抽气管道的示意图。本专利技术实施例提供的一种离子泵新型短抽口结构，包括：离子泵泵体1、短抽气管道3和松套法兰4，其中短抽气管道3指示为长度较短的抽气管道。离子泵泵体1的泵腔为真空腔体121，真空腔体121内设有抽气单元2，在离子泵泵体1顶部一侧向下开设有缺口13，缺口13内用于容纳螺栓5。短抽气管道3沿竖向装配在离子泵泵体1顶部，短抽气管道3下端开口与真空腔体121相连通，短抽气管道3的顶部设有环形凸台31。松套法兰4为圆盘状，松套法兰4的上端面开设有圆形凹槽41，松套法兰4可转动的套设在短抽气管道3上，环形凸台31能够卡设在圆形凹槽41内，沿松套法兰4的外圆开设有若干螺栓孔42，若干螺栓孔42自松套法兰4的一端面贯穿至另一端面，松套法兰4能够沿着短抽气管道3在环形凸台31和离子泵泵体1之间滑动，环形凸台31能够阻挡松套法兰4脱离短抽气管道3，松套法兰4与待抽气的密闭容器的接口法兰对接，缺口13内的螺栓5能够向上穿过松套法兰4和接口法兰的螺栓孔42，将松套法兰4和接口法兰紧固连接。与现有技术相比，本专利技术提供的一种离子泵新型短抽口结构，离子泵泵体1顶部开设缺口13，保证缺口13和松套法兰4之间的距离足够螺栓5从松套法兰4下方插入螺栓孔42内，解脱对短抽气管道3的长度限制，在缩短短抽气管道3的长度后，提高了短抽气管道3的流导，显著提高了离子泵的抽速。由此可见，只需在离子泵泵体1顶部开设缺口13，能够去缩短短抽气管道3的长度，结构简单，相较于传统离子泵抽口结构的抽气流导大幅提高，从而使同体积同结构的离子泵抽速显著提高，根据实验表明，根据各种规格形状离子泵的抽口不同，本专利技术的离子泵新型短抽口结构相较于传统离子泵的抽速会有几倍到十几倍的提高。进一步，短抽气管道3的外形为圆柱形，短抽气管道本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子泵新型短抽口结构，其特征在于，包括：/n离子泵泵体(1)，所述离子泵泵体(1)的泵腔为真空腔体(121)，所述真空腔体(121)内设有抽气单元(2)，在所述离子泵泵体(1)顶部一侧向下开设有缺口(13)，所述缺口(13)内能够容纳螺栓(5)；/n短抽气管道(3)，所述短抽气管道(3)沿竖向装配在所述离子泵泵体(1)顶部，所述短抽气管道(3)下端开口与真空腔体(121)相连通，所述短抽气管道(3)的顶部设有环形凸台(31)；/n松套法兰(4)，所述松套法兰(4)可转动的套设在所述短抽气管道(3)上，所述环形凸台(31)能够卡设在所述松套法兰(4)的圆形凹槽(41)内，所述松套法兰(4)能够沿着所述短抽气管道(3)在所述环形凸台(31)和所述离子泵泵体(1)之间滑动，所述环形凸台(31)能够阻挡所述松套法兰(4)脱离所述短抽气管道(3)，所述松套法兰(4)与待抽气的密闭容器的接口法兰对接，所述缺口(13)内的螺栓(5)能够向上穿过所述松套法兰(4)和所述接口法兰的螺栓孔(42)，将所述松套法兰(4)和所述接口法兰紧固连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种离子泵新型短抽口结构，其特征在于，包括：
离子泵泵体(1)，所述离子泵泵体(1)的泵腔为真空腔体(121)，所述真空腔体(121)内设有抽气单元(2)，在所述离子泵泵体(1)顶部一侧向下开设有缺口(13)，所述缺口(13)内能够容纳螺栓(5)；
短抽气管道(3)，所述短抽气管道(3)沿竖向装配在所述离子泵泵体(1)顶部，所述短抽气管道(3)下端开口与真空腔体(121)相连通，所述短抽气管道(3)的顶部设有环形凸台(31)；
松套法兰(4)，所述松套法兰(4)可转动的套设在所述短抽气管道(3)上，所述环形凸台(31)能够卡设在所述松套法兰(4)的圆形凹槽(41)内，所述松套法兰(4)能够沿着所述短抽气管道(3)在所述环形凸台(31)和所述离子泵泵体(1)之间滑动，所述环形凸台(31)能够阻挡所述松套法兰(4)脱离所述短抽气管道(3)，所述松套法兰(4)与待抽气的密闭容器的接口法兰对接，所述缺口(13)内的螺栓(5)能够向上穿过所述松套法兰(4)和所述接口法兰的螺栓孔(42)，将所述松套法兰(4)和所述接口法兰紧固连接。

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【专利技术属性】
技术研发人员：郑主安，
申请(专利权)人：上海三井真空设备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31