一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，包括下固定板和上固定板，所述下固定板和上固定板之间固定安装有离子泵泵体，所述离子泵泵体左端和右端军固定安装有一组温度保护机构，所述上固定板上端中部固定安装有进气口，且进气口下端与离子泵泵体内部相通，所述进气口上端固定连接有真空法兰，所述进气口外表面左部上侧固定安装有阳极引线。本实用新型专利技术所述的一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，通过设置温度保护机构，当离子泵泵体温度超过控制器设置的最高温度时，控制器控制切断开关将离子泵泵体的电源切断，保护离子泵泵体，通过设置循环降温装置，在离子泵泵体运行时吸收其产生的温度。

A temperature protection device for sputtering ion pump of electron accelerator

【技术实现步骤摘要】
一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置
本技术涉及加速离子泵设备用品领域，特别涉及一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置。
技术介绍
溅射离子泵是超高真空获得系统中使用最多的一种真空泵，特点是清洁无油、极限真空度高、运行过程中无机械振动，其原理是利用高压电场将气体分子电离，带正电的气体离子在电场和磁场的作用下螺旋加速运动撞击在钛板上发生溅射并被吸收，电子加速器的运行离不开真空技术，其核心部件加速管是一个高真空部件，其真空的获得和维护都依赖于离子泵，并且加速管工作稳定需要恒温水系统，需控制加速管温度变化范围±0.5℃，正常情况下，离子泵的壳体温度与室温基本一致，如果离子泵壳体温度逐渐高于室温，说明其负载加大，真空有泄露，如果温度过高，应立即关断离子泵电源以免对离子泵造成破坏，离子泵的壳体温度可以直接反映离子泵的工作状态。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，包括下固定板和上固定板，所述下固定板和上固定板之间固定安装有离子泵泵体，所述离子泵泵体左端和右端军固定安装有一组温度保护机构，所述上固定板上端中部固定安装有进气口，且进气口下端与离子泵泵体内部相通，所述进气口上端固定连接有真空法兰，所述进气口外表面左部上侧固定安装有阳极引线。优选的，所述温度保护机构包括保护外壳，所述保护外壳内腔靠近离子泵泵体的一端侧壁中部和四侧分别固定安装有温度感应器和循环降温装置，所述保护外壳内腔底壁中部固定安装有控制器，所述控制器与温度感应器电性连接，所述控制器上端中部固定安装有切断开关，所述切断开关与离子泵泵体电性连接，所述温度保护机构通过保护外壳与离子泵泵体固定连接在一起。优选的，所述循环降温装置包括储水仓，所述储水仓左右两侧分别固定安装有循环泵机和冷凝器，所述循环泵机和冷凝器下端共同固定连接有循环水管，且述循环泵机和冷凝器均与控制器电性连接，所述循环降温装置通过储水仓固定安装在保护外壳的内腔侧壁上。优选的，所述离子泵泵体包括离子泵外壳，所述离子泵外壳内腔底壁中部固定安装有阳极组件，所述离子泵外壳内腔左壁和右壁均固定连接有一组阴极板，所述离子泵外壳外部左端和右端军固定连接有一组永磁体，所述永磁体远离离子泵外壳的一端均固定连接有一组软铁，所述离子泵泵体通过离子泵外壳分别与下固定板和上固定板固定连接在一起。优选的，所述阳极引线右端与进气口内腔相通，且阳极引线下端穿插过上固定板与离子泵泵体内部相连通。优选的，所述下固定板前端中部固定连接有固定竖板，所述固定竖板通过螺栓将上固定板与下固定板固定连接在一起。与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：1、通过设置温度保护机构，在温度保护机构中设置有保护外壳、温度感应器、循环降温装置、控制器和切断开关，温度感应器感应离子泵泵体的温度，将实时温度传达给控制器，控制器设置有相应的温度范围，当温度感应器传达的温度较高时，控制器控制循环降温装置给离子泵泵体进行降温，当离子泵泵体温度超过控制器设置的最高温度时，控制器控制切断开关将离子泵泵体的电源切断，保护离子泵泵体。2、通过设置循环降温装置，在循环降温装置中设置有循环泵机、循环水管、冷凝器和储水仓，循环泵机和冷凝器将储水仓中的水在循环水管中循环流动并降温，给离子泵泵体进行降温，在离子泵泵体运行时吸收其产生的温度。附图说明图1为本技术一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置的整体结构示意图；图2为本技术一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置的离子泵泵体内部结构示意图；图3为本技术一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置的温度保护机构的剖视图；图4为本技术一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置的循环降温装置的连接示意图。图中：1、下固定板；2、上固定板；3、离子泵泵体；31、离子泵外壳；32、软铁；33、永磁体；34、阳极组件；35、阴极板；4、温度保护机构；41、保护外壳；42、温度感应器；43、循环降温装置；431、循环泵机；432、循环水管；433、冷凝器；434、储水仓；44、控制器；45、切断开关；5、固定竖板；6、进气口；7、阳极引线；8、真空法兰。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。如图1-4所示，一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，包括下固定板1和上固定板2，下固定板1和上固定板2之间固定安装有离子泵泵体3，离子泵泵体3左端和右端军固定安装有一组温度保护机构4，上固定板2上端中部固定安装有进气口6，且进气口6下端与离子泵泵体3内部相通，进气口6上端固定连接有真空法兰8，进气口6外表面左部上侧固定安装有阳极引线7。温度保护机构4包括保护外壳41，保护外壳41内腔靠近离子泵泵体3的一端侧壁中部和四侧分别固定安装有温度感应器42和循环降温装置43，保护外壳41内腔底壁中部固定安装有控制器44，控制器44与温度感应器42电性连接，控制器44上端中部固定安装有切断开关45，切断开关45与离子泵泵体3电性连接，温度保护机构4通过保护外壳41与离子泵泵体3固定连接在一起，便于根据离子泵泵体3的实时运行温度，采取相应的保护措施；循环降温装置43包括储水仓434，储水仓434左右两侧分别固定安装有循环泵机431和冷凝器433，循环泵机431和冷凝器433下端共同固定连接有循环水管432，且述循环泵机431和冷凝器433均与控制器44电性连接，循环降温装置43通过储水仓434固定安装在保护外壳41的内腔侧壁上，便于给温度过高的离子泵泵体3进行降温措施；离子泵泵体3包括离子泵外壳31，离子泵外壳31内腔底壁中部固定安装有阳极组件34，离子泵外壳31内腔左壁和右壁均固定连接有一组阴极板35，离子泵外壳31外部左端和右端军固定连接有一组永磁体33，永磁体33远离离子泵外壳31的一端均固定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，包括下固定板(1)和上固定板(2)，其特征在于：所述下固定板(1)和上固定板(2)之间固定安装有离子泵泵体(3)，所述离子泵泵体(3)左端和右端军固定安装有一组温度保护机构(4)，所述上固定板(2)上端中部固定安装有进气口(6)，且进气口(6)下端与离子泵泵体(3)内部相通，所述进气口(6)上端固定连接有真空法兰(8)，所述进气口(6)外表面左部上侧固定安装有阳极引线(7)。/n

【技术特征摘要】
1.一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，包括下固定板(1)和上固定板(2)，其特征在于：所述下固定板(1)和上固定板(2)之间固定安装有离子泵泵体(3)，所述离子泵泵体(3)左端和右端军固定安装有一组温度保护机构(4)，所述上固定板(2)上端中部固定安装有进气口(6)，且进气口(6)下端与离子泵泵体(3)内部相通，所述进气口(6)上端固定连接有真空法兰(8)，所述进气口(6)外表面左部上侧固定安装有阳极引线(7)。


2.根据权利要求1所述的一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，其特征在于：所述温度保护机构(4)包括保护外壳(41)，所述保护外壳(41)内腔靠近离子泵泵体(3)的一端侧壁中部和四侧分别固定安装有温度感应器(42)和循环降温装置(43)，所述保护外壳(41)内腔底壁中部固定安装有控制器(44)，所述控制器(44)与温度感应器(42)电性连接，所述控制器(44)上端中部固定安装有切断开关(45)，所述切断开关(45)与离子泵泵体(3)电性连接，所述温度保护机构(4)通过保护外壳(41)与离子泵泵体(3)固定连接在一起。


3.根据权利要求2所述的一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，其特征在于：所述循环降温装置(43)包括储水仓(434)，所述储水仓(434)左右两侧分别固定安装有循环泵机(431)和冷凝器(43...

【专利技术属性】
技术研发人员：张凯，胡千一，
申请(专利权)人：江苏蓝安信息科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32