The invention discloses a magnet yoke assembly of sputtering ion pump, which comprises magnet steel, yoke iron and stainless steel positioning plate. The magnet steel is divided into two groups. Three layers of magnet steel are respectively installed in the middle of two yoke irons, two layers in the middle, two layers in the upper and two layers in the lower. The structure is simple and compact, with less magnetic leakage and uniform magnetic field, and can significantly improve the central magnetic field strength of ion pump.
【技术实现步骤摘要】
溅射离子泵的磁轭组件
本专利技术属于溅射离子泵的配件
，具体来说，本专利技术涉及一种新型的磁轭组件，为二极溅射离子泵或三极溅射离子泵提供均匀、稳定、高强度的磁场。
技术介绍
溅射离子泵具有清洁、无油的优点，是当前国内外获得超高真空、极高真空主流的真空获得设备。目前我国探月工程及后续深空探测任务的开展，对超高真空环境模拟提出了新的需求，高灵敏度的质谱分析技术也依赖于超高真空环境。此外，随着我国综合国力的不断增强，高能物理、核工业、分析仪器、医疗设备等领域对溅射离子泵的需求迅猛增加。虽然国内外有较为成熟的溅射离子泵产品，但离子泵对惰性气体、氢气抽速能力差的问题尚未得到解决，并且国产离子泵性能指标与国际高端品牌还有很大差距。溅射离子泵是根据潘宁放电原理制造的泵，其内部结构一般是有两个钛阴极板，在阴极板之间有很多排列成蜂窝筒状的阳极，当电源给离子泵供电后，距离很近阴阳极之间产生较高的电场，空间中的电子被加速并轰击中性气体分子，中性气体分子被电离并产生正离子和新的电子。正离子被加速并轰击钛阴极板，将钛原子溅射出来，新鲜的钛原子具有非常强结合能力，能够物理吸附和化学反应空间中的气体分子。同时钛原子在器壁表面会形成一层钛膜，不断新生的钛膜能够将吸附在器壁表面的气体分子进行掩埋。使得空间中的气体分子不断减少，进而实现抽空的目的。而在阴极的两端施加的磁场是为了增加电子运动路径，能够有更多的几率与中性气体分子碰撞。为了减少磁力线的损耗，一般需要在两块磁钢上安装一块环形的轭铁一般为纯铁。溅射离子泵的性能主要由离子泵的...
【技术保护点】
1.溅射离子泵的磁轭组件，包括偶数个磁钢、两块轭铁、定位片和中间层固定片，其中磁钢具有相同尺寸和磁能积，其中，井字形溅射离子泵的泵壳左右两侧各设置一块竖直的轭铁，轭铁分别与井字形一侧形成上下轴对称的容纳磁钢的空间，井字形中间内凹部分上下轴对称形成容纳若干磁钢的中央空间，其中，若干磁钢分别安装在上下方向的两侧空间和中央空间中，两侧各容纳一块磁钢，中央空间容纳多块磁钢，泵壳的左右两次磁轭同样为对称结构，零件组成完全一致，其中，所有磁钢和磁轭整体沿着泵壳外侧轴向形成封闭的磁力线回路。/n
【技术特征摘要】
1.溅射离子泵的磁轭组件，包括偶数个磁钢、两块轭铁、定位片和中间层固定片，其中磁钢具有相同尺寸和磁能积，其中，井字形溅射离子泵的泵壳左右两侧各设置一块竖直的轭铁，轭铁分别与井字形一侧形成上下轴对称的容纳磁钢的空间，井字形中间内凹部分上下轴对称形成容纳若干磁钢的中央空间，其中，若干磁钢分别安装在上下方向的两侧空间和中央空间中，两侧各容纳一块磁钢，中央空间容纳多块磁钢，泵壳的左右两次磁轭同样为对称结构，零件组成完全一致，其中，所有磁钢和磁轭整体沿着泵壳外侧轴向形成封闭的磁力线回路。
2.如权利要求1所述的磁轭组件，其中，泵壳一侧的磁轭由上下两块磁钢、一块轭铁以及两个定位板形成，平放在轭铁上的两块磁钢磁极方向相反，磁钢依靠磁性吸引力紧紧吸附在轭铁上，磁钢在轭铁平板上水平方向的紧固或限制是通过定位板完成的，定位板通过螺钉拧紧在轭铁平面上。
3.如权利要求1所述的磁轭组件，其中，轭铁平板上的两块磁钢垂直水平面方向的磁性磁极互为相反，即一块为N极，另一块为S极。
4.如权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：窦仁超，崔寓淏，闫荣鑫，孙立臣，孟冬辉，喻新发，洪晓鹏，窦威，周雪茜，
申请(专利权)人：北京卫星环境工程研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11
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