下载一种离子泵新型短抽口结构的技术资料

文档序号:28380681

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本发明公开了一种离子泵新型短抽口结构,涉及离子泵的技术领域,包括离子泵泵体,离子泵泵体的泵腔为真空腔体,真空腔体内设有抽气单元,在离子泵泵体顶部向下开设有缺口;短抽气管道,短抽气管道沿竖向装配在离子泵泵体顶部,短抽气管道下端开口与真空腔体相...
该专利属于上海三井真空设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海三井真空设备有限公司授权不得商用。

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