【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于质谱仪
，具体涉及一种应用小型复合分子泵的质谱仪真空腔体系统。
技术介绍
质谱是利用电场、磁场或电磁场分离并检测具有不同质荷比离子的一种分析仪器。不同的质谱可用于检测有机、无机、生物等具有不同形态和性质的样品。尽管类型有所不同，总的来说，质谱仪的基本组成包括以下几部分：离子源、离子传输系统，质量分析器、检测采集系统和真空系统。质谱相较于光谱，色谱等科学仪器，具有更好的灵敏度和检出限。而为了实现其优越的仪器性能，良好的真空是必不可少的前提条件之一。离子一般产生于质谱前端的离子源。在离开离子源，进入到质谱检测系统，最终到达检测器的这一过程中，离子要在电场、磁场或电磁场中飞行一定的时间和空间。如果在这些时间和空间中存在大量的气体，也就是真空条件不好的情况下，离子必然会和气体分子碰撞而损失大量的动能。动能的改变会影响：1.离子平均自由程。微粒的平均自由程是指，在一定的条件下，微粒与其他微粒碰撞所通过的平均距离。离子被质谱仪分离的前提...
【技术保护点】
一种应用小型复合分子泵的质谱仪真空腔体系统，其特征在于，包括真空腔体(1)、上盖(2)、O型圈(3)、端盖(4)、真空规(8)、涡轮分子泵(6)、波纹管(5)、小型复合分子泵(7)；真空腔体(1)水平放置，真空腔体(1)的上部用上盖(2)及O型圈(3)密封，右端用端盖(2)及O型圈(3)密封，底部连接涡轮分子泵(6)及小型复合分子泵(7)，涡轮分子泵(6)和小型复合分子泵(7)间连有波纹管(5)，真空腔体(1)正面连有真空规(8)；所述的真空腔体(1)采用一次性成型工艺。
【技术特征摘要】
1.一种应用小型复合分子泵的质谱仪真空腔体系统，其特征在于，
包括真空腔体(1)、上盖(2)、O型圈(3)、端盖(4)、真空规(8)、
涡轮分子泵(6)、波纹管(5)、小型复合分子泵(7)；真空腔体(1)
水平放置，真空腔体(1)的上部用上盖(2)及O型圈(3)密封，右端
用端盖(2)及O型圈(3)密封，底部连接涡轮分子泵(6)及小型复合
分子泵(7)，涡轮分子泵(6)和小型复合分子泵(7)间连有波纹管(5)，
真空腔体(1)正面连有真空规(8)；
所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：任立志，肖滋兰，唐兴斌，何小意，
申请(专利权)人：钢研纳克检测技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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