【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种带分子泵的三级抽真空设备,其特征在于:包括旋片真空泵、罗茨真空泵、分子泵和若干气瓶接口,所述旋片真空泵、所述罗茨真空泵、所述分子泵和所述若干气瓶接口依次连接在一起。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王应毅,
申请(专利权)人:浙江普阳深冷装备有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。