一种带分子泵的三级抽真空设备制造技术

技术编号:8063101 阅读:201 留言:0更新日期:2012-12-08 00:51
一种带分子泵的三级抽真空设备,包括旋片真空泵、罗茨真空泵、分子泵和若干气瓶接口,所述旋片真空泵、所述罗茨真空泵、所述分子泵和所述若干气瓶接口依次连接在一起。本实用新型专利技术具有能耗低,对真空室污染小更环保且工作效率高、性能更稳定等优点。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种带分子泵的三级抽真空设备,其特征在于:包括旋片真空泵、罗茨真空泵、分子泵和若干气瓶接口,所述旋片真空泵、所述罗茨真空泵、所述分子泵和所述若干气瓶接口依次连接在一起。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王应毅
申请(专利权)人:浙江普阳深冷装备有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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