【技术实现步骤摘要】
本技术涉及氦质谱检漏仪，尤其涉及一种带有破空功能的分子泵。
技术介绍
氦质谱检漏仪在停机后，分子泵在维持高真空下从每分钟七万至九万转降到停止状态，需要很长时间。这会带来一些问题，比如停机后便移动设备，会对分子泵产生损坏；在真空状态下降速时会在共振区维持较长时间，同样会对分子泵产生损坏。这些问题都降低了分子泵的使用寿命。在目前市场上氦质谱检漏仪所用的分子泵都不具备破空功能，增加破空功能后可以使分子泵在停止工作后从高转速快速降至停止状态。
技术实现思路
本技术目的就是为了弥补已有技术的缺陷，提供一种适用在氦质谱检漏仪中的带有破空功能的分子泵。本技术是通过以下技术方案实现的一种带有破空功能的分子泵，包括有分子泵泵体，所述的分子泵泵体上分别设有两个中间进气口和一个分子排气口，所述的分子泵泵体上分子排气口处还设有分子泵破空阀，所述的分子泵破空阀还连接有过滤一体化节流装置，可以有效过滤粉尘与水汽。所述的分子泵破空阀为通径小于O. 75mm的两位两通常开阀。本技术的工作原理是在分子泵停止工作后，通过过滤一体化节流装置与分子泵破空阀向分子泵内部缓慢放入适量的空气，使分子泵负载加大，最终达到使分子泵快速停止运转，放入空气所产生的负载是在分子泵承受范围以内的。本技术的优点是本专利技术结构简单，所用材料为常规材料，成本低，延长了分子泵的使用寿命，能使分子泵在停止工作后从高转速快速降至停止状态。附图说明图I为本技术的结构示意图。具体实施方式如图I所示，一种带有破空功能的分子泵，包括有分子泵泵体1，所述的分子泵泵体I上分别设有两个中间进气口 2和3和一个分子排气口 4，所述的分子泵泵体...
【技术保护点】
一种带有破空功能的分子泵，包括有分子泵泵体，所述的分子泵泵体上分别设有两个中间进气口和一个分子排气口，其特征在于：所述的分子泵泵体上分子排气口处还设有分子泵破空阀，所述的分子泵破空阀还连接有过滤一体化节流装置。
【技术特征摘要】
1.一种带有破空功能的分子泵，包括有分子泵泵体，所述的分子泵泵体上分别设有两个中间进气口和一个分子排气口，其特征在于所述的分子泵泵体上分子排气口处还设有分子泵破空阀，...
【专利技术属性】
技术研发人员：张志，胡眉，
申请(专利权)人：安徽皖仪科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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