【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种包括泵体〔1〕、转轴〔2〕、鼠笼式聚气导流装置〔4〕、动圆盘〔5〕、静圆盘〔6〕、气体吸入口〔7〕、气体排出口〔8〕的盘式分子泵,其特征在于:a.所述的动圆盘〔5〕固定在转轴〔2〕上,b.所述的静圆盘〔6〕的外缘固定在泵体〔1〕上,c.所述的动圆盘〔5〕、静圆盘〔6〕按次序交替紧密排列,其最后一个是动圆盘。
【技术特征摘要】
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