一体型涡轮分子泵制造技术

本发明专利技术是有关于一种一体型涡轮分子泵，可一面防止灰尘等侵入至控制单元内，一面可以通过送风风扇来有效地对电子零件进行冷却。泵单元包括设置有马达的马达定子的泵基座，控制单元包括盒体(基座板及外壳)，该盒体是以与设置有马达定子的泵基座之间形成间隙区域的方式，固定于泵基座的底面。安装有电子零件的基板固定于与间隙区域相向的盒体壁部，即基座板的内周面。接着，利用风扇来将冷却风输送至间隙区域，藉此，电子零件所产生的热有效地从与间隙区域相向的基座板的部分散发至盒体外。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种将控制单元(control unit) 一体地固定于泵单元(pump unit)而成的一体型润轮分子泵(turbo molecular pump)。
技术介绍
作为半导体制造装置等所使用的真空泵，涡轮分子泵已为人所知，该涡轮分子泵利用马达(motor)来对形成有旋转翼的转子(rotor)进行旋转驱动，使旋转翼相对于固定翼而高速旋转，藉此来将气体排出。在此种涡轮分子泵中，将泵本体与控制装置作成一体，通过冷却水来冷却泵本体与控制装置的涡轮分子泵已为人所知(例如参照专利文献I)。另外，在专利文献2所记载的涡轮分子泵，已记载了通过风扇(fan)来冷却一体化的泵本体与控制装置。[先前技术文献][专利文献][专利文献I]日本专利特开平11-173293号公报[专利文献2]日本专利特开平10-131887号公报然而，在如离子注入(ion implantation)装置之类的使用高电压的半导体制造装置，恐怕存在漏水等可能性，在安全性方面，如专利文献I所记载的使用冷却水的真空泵并不优选。另一方面，在专利文献2所记载的涡轮分子泵为如下的构成，即，将配置有电子控制单元的壳体(housing)固定于泵本体下部,通过安装于壳体的风扇，冷却电子控制单元及泵本体的下部。然而，由于采用从泵周围环境吸入空气至装置内的构造，因此，恐怕存在周围环境的灰尘等容易进入至壳体内而导致电子控制单元发生故障的可能性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，克服现有的涡轮分子泵存在的缺陷，而提供一种新型结构的一体型涡轮分子泵，所要解决的技术问题是使其可一面防止灰尘等侵入至控制单元内，一面通过送风风扇来有效地冷却电子零件，非常适于实用。本专利技术的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。为达到上述目的，依据本专利技术的第一专利技术是一种电源一体型涡轮分子泵，该电源一体型涡轮分子泵包括:泵单元，通过马达来使形成有旋转翼的转子旋转，从而进行真空排气；以及控制单元，固定于泵单元，对该泵单元进行驱动控制。所述电源一体型涡轮分子泵的特征在于:泵单元包括设置有马达定子的泵基座(pump base)。控制单元包括盒体(case),以与泵基座之间形成间隙区域的方式，固定于所述泵基座的底面；以及电子零件，收纳于盒体，并且固定于与间隙区域相向的盒体壁部的内周面。电源一体型涡轮分子泵还包括将冷却风输送至间隙区域的送风风扇。根据第一专利技术所述的一体型涡轮分子泵，在第二专利技术中，在与间隙区域相向的盒体壁部的间隙区域侧的面上，设置有散热器。根据第二专利技术所述的一体型涡轮分子泵，在第三专利技术中，散热器包括多个散热片(radiation fin),所述多个散热片形成于盒体壁部的间隙区域侧的面。根据第一专利技术至第三专利技术中任一项所述的一体型涡轮分子泵，在第四专利技术中，所述送风风扇除了向间隙区域输送冷却风之外，还向泵基座输送冷却风。本专利技术与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技术方案，本专利技术一体型涡轮分子泵至少具有下列优点及有益效果:根据本专利技术，可一面防止灰尘等侵入至控制单元内，一面通过送风风扇来有效地冷却电子零件。综上所述，本专利技术是有关于一种一体型涡轮分子泵，可一面防止灰尘等侵入至控制单元内，一面可以通过送风风扇来有效地对电子零件进行冷却。泵单元包括设置有马达的马达定子的泵基座，控制单元包括盒体(基座板及外壳)，该盒体是以与设置有马达定子的泵基座之间形成间隙区域的方式，固定于泵基座的底面。安装有电子零件的基板固定于与间隙区域相向的盒体壁部，即基座板的内周面。接着，利用风扇来将冷却风输送至间隙区域，藉此，电子零件所产生的热有效地从与间隙区域相向的基座板的部分散发至盒体外。上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。附图说明图1是表示本实施方式的一体型涡轮分子泵的概略构成的图。图2是表示利用树脂305来对电子零件进行铸模时的控制单元30的图。图3 (A)、图3 (B)是表示本实施方式的变形例的图。图4是表示使用凹状的基座构件38时的控制单元30的图。1:涡轮分子泵2:转子3:轴4:泵基座6:马达8:旋转翼9:固定翼10、31:垫片11:螺纹定子12:圆筒部13:泵外壳13a:吸气口20:泵单元26:排气口27,28:机械轴承30:控制单元32:基座板33:外壳34:风扇35:外罩37a、37b:连接器38:基座构件39:板40:螺栓41:转子盘42:螺母构件43:背盖51、52:电磁铁71:径向位移传感器/位移传感器 72:轴向位移传感器/位移传感器301、303:基板302:支柱304:电子零件305:树脂321:散热片322:间隙S:间隙区域具体实施例方式以下，参照图来对用以实施本专利技术的方式进行说明。图1是表示本实施方式的一体型涡轮分子泵的概略构成图。涡轮分子泵I是磁轴承式的涡轮分子泵，如图1所示，泵单元20与控制单元30由螺栓(bolt)固定。首先，对泵单元20进行说明。安装有转子2的轴(shaft) 3是通过设置于泵基座4的电磁铁51、52而非接触地受到支撑。通过设置于泵基座4的径向位移传感器(radialdisplacement sensor) 71 及轴向位移传感器(axial displacement sensor) 72,对轴 3 的上浮位置进行检测。利用构成径向磁轴承的电磁铁51、构成轴向磁轴承的电磁铁52、以及位移传感器71、72来构成五轴控制型磁轴承。再者，在磁轴承未动作的状态下，轴3由机械轴承(mechanical bearing) 27、28 支撑。在轴3的下端设置有圆形的转子盘(rotor disk)41,且电磁铁52是设置成以上下地包夹该转子盘41的方式。而且，通过利用电磁铁52吸引转子盘41，轴3向轴向方向上浮。转子盘41通过螺母(nut)构件42而固定于轴3的下端部。背盖43通过螺栓而固定于泵基座4的底面。背盖43与泵基座 4的间隙由O形环密封。在背盖43设置有连接器(connector) 37a,该连接器37a与控制单元30的连接器37b连接。在转子2上，沿着旋转轴方向而形成有多段的旋转翼8。在上下并排的旋转翼8之间，分别配置有固定翼9。通过这些旋转翼8与固定翼9来构成泵单元20的涡轮翼段。各固定翼9是以上下地被夹持的方式，由垫片(spacer) 10保持。垫片10具有保持固定翼9的功能，以及将固定翼9之间的间隙(gap)维持于规定间隔的功能。而且，在固定翼9的后段(图示的下方)设置有构成拖曳泵(drag pump)段的螺纹定子(screw stator) 11,在螺纹定子11的内周面与转子2的圆筒部12之间形成有间隙。转子2以及通过垫片10保持的固定翼9被收纳在形成有吸气口 13a的泵外壳(pumpcasing) 13内。若一面通过电磁铁51、52来非接触地支撑安装有转子2的轴3，一面通过马达6来进行旋转驱动，则吸气口 13a侧的气体会排向背压侧，排向背压侧的气体通过连接于排气口 26的辅助泵而被排出。控制单元30通过多个螺栓40而固定于构成泵单元20的泵基座4的下部。在对泵单元2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种一体型涡轮分子泵，其为电源一体型涡轮分子泵，所述电源一体型涡轮分子泵包括：泵单元，藉由马达来使形成有旋转翼的转子旋转，从而进行真空排气；以及控制单元，固定于所述泵单元，对所述泵单元进行驱动控制，所述一体型涡轮分子泵的特征在于：所述泵单元包括设置有马达定子的泵基座，所述控制单元包括：盒体，以与所述泵基座之间形成间隙区域的方式，固定于所述泵基座的底面；以及电子零件，收纳于所述盒体，并且固定于与所述间隙区域相向的盒体壁部的内周面，且包括送风风扇，将冷却风输送至所述间隙区域的。

【技术特征摘要】
2011.11.08 JP 2011-2444441.一种一体型涡轮分子泵，其为电源一体型涡轮分子泵，所述电源一体型涡轮分子泵包括:泵单元，藉由马达来使形成有旋转翼的转子旋转，从而进行真空排气；以及控制单元，固定于所述泵单元，对所述泵单元进行驱动控制，所述一体型涡轮分子泵的特征在于: 所述泵单元包括设置有马达定子的泵基座， 所述控制单元包括: 盒体，以与所述泵基座之间形成间隙区域的方式，固定于所述泵基座的底面；以及 电子零件，收纳于...

【专利技术属性】
技术研发人员：芝守，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：