高真空泵制造技术

一种高真空泵(11)，包括多个泵级，每个泵级包括多个相互合作的元件，所述元件包括至少一个旋转的转子元件(1；13；33)和至少一个固定的定子元件。至少一个泵级的至少一个元件由用短纤维增强的塑料材料制成，所述短纤维以无序并基本上随机的方式分散在塑料材料的基体内。使用由短纤维增强的塑料材料允许通过注射成型制造所述至少一个元件，并且允许以较之传统真空泵显著降低的生产成本来制造真空泵(11)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及真空泵，更具体地涉及包含一个或多个由塑料材料制成的元件并意在获得闻真空度的闻真空栗。
技术介绍
本领域已知多种不同的真空泵，并根据要获得的真空度来使用这些真空泵。例如，涡轮分子泵被广泛用于获得非常高的真空度，最高达10_8Pa。这些润轮分子泵一般包括真空密封(vacuum-tight)的壳体，所述壳体具有入口(即抽吸端口)、出口(即排出端口)以及多个布置在抽吸端口和排出端口之间的泵级(pumping stage)。每一个泵级包括包含固定的环状定子元件的定子级以及包含旋转的盘状转子元件的转子级，所述转子级与旋转轴一体地安装，并可以装有外周叶片。当使旋转轴和与其一体安装的转子元件高速(通常超过10，OOOrpm,甚至高达100，OOOrpm)旋转时，基于转子元件与定子元件的合作，获得从抽吸端口到排出端口的气体泵送。润轮分子泵常常在高压侧与分子拖曳真空泵(molecular drag vacuum pump)相联。分子拖曳真空泵一般包括真空密封的壳体，所述壳体包含入口(即抽吸端口)、出口(即排出端口)以及多个布置在抽吸端口和排出端口之间的泵级。泵级通过从快速移动表面(以与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.02.01 IT TO2010A0000701.一种真空泵(11)，所述真空泵(11)包括真空密封的壳体，其中设置有抽吸端口和排出端口，并且其中设置有用于将气体从抽吸端口泵送到排出端口的一个或多个泵级，所述泵级中的每个泵级包括彼此合作来将所述气体泵送通过该泵级的多个元件，这些元件至少包括 -定子元件，其是固定的并紧固到所述壳体上； -转子元件(I ；13 ;33)，其与旋转轴一体地安装； 其特征在于，至少一个所述泵级的至少一个所述元件是由填充有增强短纤维的塑料材料制成的。2.如权利要求I所述的真空泵，其中，所述塑料材料是热塑性树脂或热固性树脂。3.如权利要求I或2所述的真空泵，其中，所述塑料材料是半结晶聚合物。4.如权利要求I所述的真空泵，其中，所述增强短纤维是碳或石墨短纤维、玻璃短纤维或芳纶短纤维。5.如权利要求I所述的真空泵，其中，所述塑料材料填充有10重量％到50重量％的所述短纤维，优选地填充有30重量％到40重量％的所述短纤维。6.如权利要求I所述的真空泵，其中，所述增强短纤维在所述塑料材料内以无序并且基本随机的方式分散。7.如权利要求1-6中任意一项所述的真空泵，其中，所述至少一个泵级的所述至少一个元件是转子元件(I ；13 ；33)。8.如权利要求1-7中任意一项所述的真空泵，其中，所述至少一个泵级的所述至少一个元件是定子元件。9.如权利要求7所述的真空泵，其中，所述至少一个泵级是涡轮分子泵级，所述至少一个元件是涡轮分子转子元件(I ;13)。10.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：思尔韦奥·吉奥斯，简璐卡·布查理，莫罗·奈比奥罗，
申请(专利权)人：安捷伦科技有限公司，
类型：
国别省市：