排气泵的堆积物检测装置和具备该装置的排气泵制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种堆积物检测装置和具备该装置的排气泵，其不管处理中使用的气体的种类、流量如何，而在什么样的处理中都能够更正确地检测该处理中使用的排气泵内的堆积物（泵内堆积物），且进行警告。排气泵（P）的泵控制装置（50）包含检测泵内堆积物的堆积物检测装置，堆积物检测装置具有执行初始处理的功能以及执行上述初始处理之后的事后处理的功能，作为上述初始处理，指的是对排气泵的旋转体进行旋转驱动的电动机的电流值进行读入处理和基于读入的电动机电流值求出电动机电流初始值并进行存储处理，作为上述初始处理之后的事后处理，指的是对上述电动机的电流值进行读入处理、基于读入的电动机电流值求出电动机电流当前值的处理、以及求出电动机电流当前值相对于电动机电流初始值的变化量的处理，堆积物检测装置基于该变化量来检测泵内堆积物。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：榎本良弘，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：