一种磁悬浮分子泵的叶轮结构制造技术

技术编号:9919324 阅读:145 留言:0更新日期:2014-04-14 04:36
本实用新型专利技术涉及真空获得设备技术领域,尤其涉及一种便于调整磁悬浮分子泵转子系统质量不均衡分布的叶轮结构。该磁悬浮分子泵的叶轮结构,由转子主轴、叶轮桶、叶轮和叶片组成,所述叶轮桶设置在叶轮的下方,转子主轴设置在叶轮中并与叶轮相连,在叶轮上设置有叶片,在所述叶轮上设置有螺钉孔,所述螺钉孔在叶轮上端面和/或叶轮最下层叶片间隙处沿着圆周按一定的角度分布。本实用新型专利技术具有结构实现简单容易、调整效率高且不会额外增加电磁控制压力的优点。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种磁悬浮分子泵的叶轮结构,由转子主轴、叶轮桶、叶轮和叶片组成,所述叶轮桶设置在叶轮的下方,转子主轴设置在叶轮中并与叶轮相连,在叶轮上设置有叶片,其特征是:在所述叶轮上设置有螺钉孔,所述螺钉孔在叶轮上端面和/或叶轮最下层叶片间隙处沿着圆周按一定的角度分布。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:洪申平俞天野项海铭沙宏磊张亮
申请(专利权)人:天津飞旋科技研发有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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