【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置中的处理腔室、其他密闭腔室的气体排气机构等使用的排气泵，特别涉及能够实现耐久性、泵生产阶段中的连通开口部的加工性及排气性能的提高的排气泵。
技术介绍
在利用螺纹槽将气体排气的形式的排气泵中，作为不改变该泵整体的大小而使排气性能提高的I个方法，已知有例如在专利文献I中公开的方法。该方法如在该文献I的图I中记载那样，在筒形旋转部件(4a)的外周及内周上设置螺纹槽(30、31)。由此，在筒形旋转部件(4a)与包围其外周的外侧筒形固定部件(33)之间，形成螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，并且在筒形旋转部件(4a)与由其内周包围的内侧筒形固定部件(7)之间形成螺旋状的内侧螺纹槽排气通路，由这些内外的螺纹槽排气通路并行将气体分子排气。但是，在采用上述方法的排气泵中，为了向内侧螺纹槽排气通路引导气体分子，采用在筒形旋转部件(4a)的连结环部(无附图标记)上开设连通开口部(4b)的结构。因此，当通过筒形旋转部件(4a)绕其轴心旋转时的离心力或筒形旋转部件(4a)的热膨胀等而筒形旋转部件(4a)变形时，在连通开...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.09.28 JP 2010-2169091.一种排气泵,具备 筒形旋转部件； 支承机构，将上述筒形旋转部件可绕其轴心旋转地支承； 驱动机构，将上述筒形旋转部件旋转驱动； 外侧筒形固定部件，对上述筒形旋转部件的外周成包围之状而配置； 内侧筒形固定部件，被上述筒形旋转部件的内周成被包围之状而配置； 螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述外侧筒形固定部件之间； 螺旋状的内侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述内侧筒形固定部件之间； 连通开口部，开设在上述筒形旋转部件上，将存在于该筒形旋转部件的外周附近的气体的一部分引导进上述内侧螺纹槽排气通路； 其特征在于， 在比上述连通开口部还要上游的上述筒形旋转部件的外周上以多段设置的多个旋转翼中的最下段的旋转翼与上述连通开口部上游端之间的间隙是在该间隙中用来开设上述连通开口部的工具能够插入的尺寸以上。2.如权利要求I所述的排气泵，其特征在于， 通过比上述最下段的旋转翼还要下游的上述筒形旋转部件是在形成有上述连通开口部的位置处向远离上述最下段的旋转翼的方向而倾斜的向下梯度的锥形状，上述最下段的旋转翼与上述连通开口部上游端之间的间隙使其成为上述尺寸以上。3.—种排气泵,具备 筒形旋转部件； 支承机构，将上述筒形旋转部件可绕其轴心旋转地支承； 驱动机构，将上述筒形旋转部件旋转驱动； 外侧筒形固定部件，对上述筒形旋转部件的外周成包围之状而配置； 内侧筒形固定部件，被上述筒形旋转部件的内周成被包围之状而配置； 螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述外侧筒形固定部件之间； 螺旋状的内侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述内侧筒形固定部件之间； 连通开口部，开设在上述筒形旋转部件上，将存在于该筒形旋转部件的外周附近的气体的一部分引导进上述内侧螺纹槽排气通路； 其特征在于， 在比上述连通开口部还要上游的上述筒形旋转部件的外周上以多段设置的多个旋转翼中的最下段的旋转翼与相邻于该旋转翼的旋转翼之间的开口区域是在该开口区域中用来开设上述连通开口部的工具能够插入的尺寸以上。4.一种排气泵,具备 筒形旋转部件； 支承机构，将上述筒形旋转部件可绕其轴心旋转地支承；驱动机构，将上述筒形旋转部件旋转驱动； 外侧筒形固定部件，对上述筒形旋转部件的外周成包围之状而配置； 内侧筒形固定部件，被上述筒形旋转部件的内周成被包围之状而配置； 螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述外侧筒形固定部件之间； 螺旋状的内侧螺纹槽排...
【专利技术属性】
技术研发人员：大立好伸，前岛靖，高阿田勉，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：
国别省市：
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