提供一种适合于实现耐久性、泵生产阶段中的连通开口部的加工性、及排气性能的提高的排气泵。排气泵具备筒形旋转部件（6）、筒形旋转部件（6）的支承机构、旋转驱动筒形旋转部件（6）的驱动机构、对包围筒形旋转部件（6）的外周成包围之状而配置的外侧筒形固定部件、被筒形旋转部件（6）的内周成被包围之状而配置的内侧筒形固定部件、设在筒形旋转部件（6）与外侧筒形固定部件之间的螺旋状的外侧螺纹槽排气通路、设在筒形旋转部件（6）与内侧筒形固定部件之间的螺旋状的内侧螺纹槽排气通路、和开设在筒形旋转部件（6）上、将存在于筒形旋转部件（6）的外周附近的气体的一部分引导进上述内侧螺纹槽排气通路的连通开口部（H）；设在比连通开口部（H）还要上游的筒形旋转部件（6）的外周上的最下段的旋转翼（13E）与连通开口部（H）上游端之间的间隙是在该间隙中用来开设连通开口部（H）的工具能够插入的尺寸以上。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置中的处理腔室、其他密闭腔室的气体排气机构等使用的排气泵，特别涉及能够实现耐久性、泵生产阶段中的连通开口部的加工性及排气性能的提高的排气泵。
技术介绍
在利用螺纹槽将气体排气的形式的排气泵中，作为不改变该泵整体的大小而使排气性能提高的I个方法，已知有例如在专利文献I中公开的方法。该方法如在该文献I的图I中记载那样，在筒形旋转部件(4a)的外周及内周上设置螺纹槽(30、31)。由此，在筒形旋转部件(4a)与包围其外周的外侧筒形固定部件(33)之间，形成螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，并且在筒形旋转部件(4a)与由其内周包围的内侧筒形固定部件(7)之间形成螺旋状的内侧螺纹槽排气通路，由这些内外的螺纹槽排气通路并行将气体分子排气。但是，在采用上述方法的排气泵中，为了向内侧螺纹槽排气通路引导气体分子，采用在筒形旋转部件(4a)的连结环部(无附图标记)上开设连通开口部(4b)的结构。因此，当通过筒形旋转部件(4a)绕其轴心旋转时的离心力或筒形旋转部件(4a)的热膨胀等而筒形旋转部件(4a)变形时，在连通开口部(4b)的缘部上发生应力集中，转子(4)容易从形成有连通开口部(4b)的连结环部(无附图标记)附近损坏等，有耐久性的问题。此外，根据采用上述方法的排气泵，如专利文献I的图I及图2所示那样，在连通开口部(4b)的上方存在旋转翼(5)。因此，必须从筒形旋转部件(4a)的下部开口向其内周侧插入工具而开设加工连通开口部(4b)(参照本申请图2 (a)的工具T4的加工)，所以需要尺寸较长的工具，如果工具的支承系统的刚性较弱，则在连通开口部(4b)的开设加工时在工具上发生晃动等，在连通开口部(4b)的加工性上也有问题。进而，通过上述方法的采用，排气泵的排气性能提高，但随着近年来的半导体及平板、太阳能面板等的大型化，生产它们的密闭腔室也成为大型，在密闭腔室内使用的反应性气体等的气体量也增加，所以对于作为将这样的气体排气的机构的排气泵要求进一步的排气性能的提闻。另外，在以上的说明中，括号内的附图标记是在专利文献I中使用的附图标记。专利文献I :实开平5 - 38389号公报。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题及要求而做出的，其目的是提供一种适合于实现耐久性、泵生产阶段中的连通开口部的加工性及排气性能的提高的排气泵。为了达到上述目的，第I本专利技术是一种排气泵，具备筒形旋转部件；支承机构，将上述筒形旋转部件可绕其轴心旋转地支承；驱动机构，将上述筒形旋转部件旋转驱动；夕卜侧筒形固定部件，对上述筒形旋转部件的外周成包围之状而配置；内侧筒形固定部件，被上述筒形旋转部件的内周成被包围之状而配置；螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述外侧筒形固定部件之间；螺旋状的内侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述内侧筒形固定部件之间；连通开口部，开设在上述筒形旋转部件上，将存在于该筒形旋转部件的外周附近的气体的一部分引导进上述内侧螺纹槽排气通路；其特征在于，在比上述连通开口部还要上游的上述筒形旋转部件的外周上以多段设置的多个旋转翼中的最下段的旋转翼与上述连通开口部上游端之间的间隙是在该间隙中用来开设上述连通开口部的工具能够插入的尺寸以上。在上述第I本专利技术中，也可以是，通过比上述最下段的旋转翼还要下游的上述筒形旋转部件是在形成有上述连通开口部的位置处向远离上述最下段的旋转翼的方向而倾斜的向下梯度的锥形状，上述最下段的旋转翼与上述连通开口部上游端之间的间隙使其成为上述尺寸以上。此外，第I本专利技术是一种排气泵，具备筒形旋转部件；支承机构，将上述筒形旋转部件可绕其轴心旋转地支承；驱动机构，将上述筒形旋转部件旋转驱动；外侧筒形固定部件，对上述筒形旋转部件的外周成包围之状而配置；内侧筒形固定部件，被上述筒形旋转部 件的内周成被包围之状而配置；螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述外侧筒形固定部件之间；螺旋状的内侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述内侧筒形固定部件之间；连通开口部，开设在上述筒形旋转部件上，将存在于该筒形旋转部件的外周附近的气体的一部分引导进上述内侧螺纹槽排气通路；其特征在于，在比上述连通开口部还要上游的上述筒形旋转部件的外周上以多段设置的多个旋转翼中的最下段的旋转翼与相邻于该旋转翼的旋转翼之间的开口区域是在该开口区域中用来开设上述连通开口部的工具能够插入的尺寸以上。第2本专利技术是一种排气泵，具备筒形旋转部件；支承机构，将上述筒形旋转部件可绕其轴心旋转地支承；驱动机构，将上述筒形旋转部件旋转驱动；外侧筒形固定部件，对上述筒形旋转部件的外周成包围之状而配置；内侧筒形固定部件，被上述筒形旋转部件的内周成被包围之状而配置；螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述外侧筒形固定部件之间；螺旋状的内侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述内侧筒形固定部件之间；连通开口部，开设在上述筒形旋转部件上，将存在于该筒形旋转部件的外周附近的气体的一部分引导进上述内侧螺纹槽排气通路；其特征在于，上述多个连通开口部的位置相对于排气泵的泵轴心点对称地配置。在上述第2本专利技术中，在上述“筒形旋转部件”中，包括由直径一样的筒体那样的形状构成的结构、以及由将直径不同的多个筒体在其轴向上连结那样的形状构成的结构。第3本专利技术是一种排气泵，其特征在于，具备筒形旋转部件；支承机构，将上述筒形旋转部件可绕其轴心旋转地支承；驱动机构，将上述筒形旋转部件旋转驱动；外侧筒形固定部件，对上述筒形旋转部件的外周成包围之状而配置；内侧筒形固定部件，被上述筒形旋转部件的内周成被包围之状而配置；螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述外侧筒形固定部件之间；螺旋状的内侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述内侧筒形固定部件之间；连通开口部，开设在上述筒形旋转部件上，将存在于该筒形旋转部件的外周附近的气体的一部分引导进上述内侧螺纹槽排气通路；加强机构，设在上述筒形旋转部件上，将上述连通开口部周边加强。在上述第3本专利技术中，在上述“筒形旋转部件”中，包括由直径一样的筒体那样的形状构成的结构、以及由将直径不同的多个筒体在其轴向上连结那样的形状构成的结构。在第3本专利技术中，也可以是，上述加强机构由第I加强构造以及第2加强构造中的某一个加强构造或两者的加强构造来构成，所述第I加强构造是通过在上述连通开口部周边的筒形旋转部件外周上安装加强部件来减少该连通开口部周边处的筒形旋转部件的变形之构造，所述第2加强构造是通过在上述连通开口部周边的转子6内周下端上形成伸出部来减少该连通开口部周边处的筒形旋转部件的变形之构造。上述第I加强构造可以采用将由高强度材料构成的环作为加强部件安装到上述连通开口部周边的筒形旋转部件外周上来构成的结构。上述环也可以由与上述筒形旋转部件的形成材料相比线膨胀系数较低、并且弹性系数较大的材料形成。第4本专利技术是一种排气泵，具备筒形旋转部件；支承机构，将上述筒形旋转部件 可绕其轴心旋转地支承；驱动机构，将上述筒形旋转部件旋转驱动；外侧筒形固定部件，对上述筒形旋转部件的外周成包围之状而配置；内侧筒形固定部件，被上述筒形旋转部件的内周成被包围之状而配置；螺旋本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.09.28 JP 2010-2169091.一种排气泵,具备 筒形旋转部件； 支承机构，将上述筒形旋转部件可绕其轴心旋转地支承； 驱动机构，将上述筒形旋转部件旋转驱动； 外侧筒形固定部件，对上述筒形旋转部件的外周成包围之状而配置； 内侧筒形固定部件，被上述筒形旋转部件的内周成被包围之状而配置； 螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述外侧筒形固定部件之间； 螺旋状的内侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述内侧筒形固定部件之间； 连通开口部，开设在上述筒形旋转部件上，将存在于该筒形旋转部件的外周附近的气体的一部分引导进上述内侧螺纹槽排气通路； 其特征在于， 在比上述连通开口部还要上游的上述筒形旋转部件的外周上以多段设置的多个旋转翼中的最下段的旋转翼与上述连通开口部上游端之间的间隙是在该间隙中用来开设上述连通开口部的工具能够插入的尺寸以上。2.如权利要求I所述的排气泵，其特征在于， 通过比上述最下段的旋转翼还要下游的上述筒形旋转部件是在形成有上述连通开口部的位置处向远离上述最下段的旋转翼的方向而倾斜的向下梯度的锥形状，上述最下段的旋转翼与上述连通开口部上游端之间的间隙使其成为上述尺寸以上。3.—种排气泵,具备 筒形旋转部件； 支承机构，将上述筒形旋转部件可绕其轴心旋转地支承； 驱动机构，将上述筒形旋转部件旋转驱动； 外侧筒形固定部件，对上述筒形旋转部件的外周成包围之状而配置； 内侧筒形固定部件，被上述筒形旋转部件的内周成被包围之状而配置； 螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述外侧筒形固定部件之间； 螺旋状的内侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述内侧筒形固定部件之间； 连通开口部，开设在上述筒形旋转部件上，将存在于该筒形旋转部件的外周附近的气体的一部分引导进上述内侧螺纹槽排气通路； 其特征在于， 在比上述连通开口部还要上游的上述筒形旋转部件的外周上以多段设置的多个旋转翼中的最下段的旋转翼与相邻于该旋转翼的旋转翼之间的开口区域是在该开口区域中用来开设上述连通开口部的工具能够插入的尺寸以上。4.一种排气泵,具备 筒形旋转部件； 支承机构，将上述筒形旋转部件可绕其轴心旋转地支承；驱动机构，将上述筒形旋转部件旋转驱动； 外侧筒形固定部件，对上述筒形旋转部件的外周成包围之状而配置； 内侧筒形固定部件，被上述筒形旋转部件的内周成被包围之状而配置； 螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述外侧筒形固定部件之间； 螺旋状的内侧螺纹槽排...
【专利技术属性】
技术研发人员：大立好伸，前岛靖，高阿田勉，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：
国别省市：
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