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文档序号:8109117
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提供一种适合于实现耐久性、泵生产阶段中的连通开口部的加工性、及排气性能的提高的排气泵。排气泵具备筒形旋转部件(6)、筒形旋转部件(6)的支承机构、旋转驱动筒形旋转部件(6)的驱动机构、对包围筒形旋转部件(6)的外周成包围之状而配置的外侧筒形...
该专利属于埃地沃兹日本有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过埃地沃兹日本有限公司授权不得商用。
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