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本发明提供一种盘式分子泵，由动圆盘、静圆盘、转轴和泵体等组成，其特点是在相当厚度的动圆盘和静圆盘上设置径向矩形或梯形气道，使圆盘两边的气体分子互通，气道的两个径向侧面与圆盘水平面间的倾斜角各自可在0°至180°之间改变。动圆盘和静圆盘上气道...
该专利属于李晨所有，仅供学习研究参考，未经过李晨授权不得商用。

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