【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于真空
，具体涉及一种高压比复合分子泵。
技术介绍
复合分子泵属于高速旋转的真空获得设备，由动叶轮、静叶片、高速电机、滚动轴承等组成。复合分子泵包括涡轮段和牵引段，涡轮段由多组动叶轮和静叶片组成，实现大抽速；牵引段由牵引鼓筒和牵引槽筒组成，实现高压比。如果压比不够高，在前级加气负载时，真空腔内部的压力会升高，影响测量结果，甚至会损坏高精度的测量仪器。目前，亟需一种高压比复合分子泵。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种高压比复合分子泵。本专利技术的高压比复合分子泵，其特点是，包括内磁环、泵壳、球轴承组件、底座组件、外槽筒、牵引槽盘、静叶片、定位环、动叶轮、永磁轴承外磁环、牵引盘、芯轴、牵引鼓筒、永磁电机转子；其连接关系是，所述的泵壳与底座组件沿底座组件的圆周固定，球轴承组件放置在泵壳中心的空腔中，与底座组件圆周固定，泵壳中心安装有芯轴；所述的外槽筒、牵引槽盘、静叶片、定位环从下至上依次与芯轴同轴安装在泵壳中心的空腔中，在泵壳的内腔壁上定位固定；所述的动叶轮、永磁轴承外磁环、牵引盘、牵引鼓筒依次过盈装配在芯轴上，永磁电机转子粘接在芯轴上；所述的芯轴的下端支承固定于球轴承组件，芯轴的上端由泵壳顶端的内磁环、外磁环构成的永磁轴承支承，内磁环安装在泵壳的上端，外磁环安装在动叶轮的内孔腔。所述的牵引槽盘的上表面刻有上牵引槽，下表面刻有下牵引槽，上牵引槽的外径小于下牵引槽的外径。所述的牵引槽盘采用双面牵引槽结构，牵引槽轮廓为圆弧或直线。所述的牵引槽盘采用两瓣结构，使用止口定位。所述的牵引槽盘的材料为铝合金。所述的牵引盘采用平面盘形结构。所...
【技术保护点】
一种高压比复合分子泵，其特征在于，包括内磁环（1）、泵壳（2）、球轴承组件（3）、底座组件（4）、外槽筒（5）、牵引槽盘（6）、静叶片（7）、定位环（8）、动叶轮（9）、永磁轴承外磁环（10）、牵引盘（11）、芯轴（12）、牵引鼓筒（13）、永磁电机转子（14）；其连接关系是，所述的泵壳（2）与底座组件（4）沿底座组件（4）的圆周固定，球轴承组件（3）放置在泵壳（2）中心的空腔中，与底座组件（4）圆周固定，泵壳（2）中心安装有芯轴（12）；所述的外槽筒（5）、牵引槽盘（6）、静叶片（7）、定位环（8）从下至上依次与芯轴（12）同轴安装在泵壳（2）中心的空腔中，在泵壳（2）的内腔壁上定位固定；所述的动叶轮（9）、永磁轴承外磁环（10）、牵引盘（11）、牵引鼓筒（13）依次过盈装配在芯轴（12）上，永磁电机转子（14）粘接在芯轴（12）上；所述的芯轴（12）的下端支承固定于球轴承组件（3），芯轴（12）的上端由泵壳（2）顶端的内磁环（1）、外磁环（10）构成的永磁轴承支承，内磁环（1）安装在泵壳（2）的上端，外磁环（10）安装在动叶轮（9）的内孔腔；所述的牵引槽盘（6）的上表面刻有上牵引槽...
【技术特征摘要】
1.一种高压比复合分子泵，其特征在于，包括内磁环（1）、泵壳（2）、球轴承组件（3）、底座组件（4）、外槽筒（5）、牵引槽盘（6）、静叶片（7）、定位环（8）、动叶轮（9）、永磁轴承外磁环（10）、牵引盘（11）、芯轴（12）、牵引鼓筒（13）、永磁电机转子（14）；其连接关系是，所述的泵壳（2）与底座组件（4）沿底座组件（4）的圆周固定，球轴承组件（3）放置在泵壳（2）中心的空腔中，与底座组件（4）圆周固定，泵壳（2）中心安装有芯轴（12）；所述的外槽筒（5）、牵引槽盘（6）、静叶片（7）、定位环（8）从下至上依次与芯轴（12）同轴安装在泵壳（2）中心的空腔中，在泵壳（2）的内腔壁上定位固定；所述的动叶轮（9）、永磁轴承外磁环（10）、牵引盘（11）、牵引鼓筒（13）依次过盈装配在芯轴（12）上，永磁电机转子（14）粘接在芯轴（12）上；所述的芯轴（12）的下端支承固定于球轴承组件（3），芯轴（12）的上端由...
【专利技术属性】
技术研发人员：陶继忠，王文升，何朝晖，蔡飞飞，刘广民，马绍兴，刘有海，雷艳华，张明君，吴定柱，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，
类型：发明
国别省市：四川;51
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