一种具有拖动功能的分子泵底盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有拖动功能的分子泵底盘，包括盘体（1）以及设置在所述盘体（1）上的抽气沟槽（2），所述盘体为安装分子泵电机及转子总成的底盘。该实用新型专利技术的分子泵底盘加工制作后，变形量极小，质量易保证，装配工艺简单。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种分子泵底盘。具体地说是一种加工制作后，变形量极小，质量易保证，装配工艺简单的具有分子拖动功能的分子泵底盘。
技术介绍
分子泵属于一种高速高精密高端真空获得设备，从结构上分为两大类：普通涡轮分子泵和复合分子泵，前者的抽气模块全部由涡轮动静叶片相间匹配组成，后者的抽气模块则由涡轮级合理串接分子牵引级组成，而牵引级又分为筒式牵引级（柱拖泵）和盘式牵引级（盘拖泵），目前盘拖泵或串接有盘式牵引结构的复合分子泵中的抽气盘均为铝件薄盘，而分子泵的底盘为光面底盘，如中国专利文献CN87208695或CN201615077中提到的抽气盘，在盘体的一面或两面开有抽气沟槽，盘体厚度尤其是抽气沟槽的底壁厚度与盘体外形尺寸之比较小，抽气沟槽加工后，由于加工应力较大，盘体较薄，零件变形量较大，导致牵引盘质量不易保证，这种现象在大型分子泵中更为明显，而牵引级的轴向间隙本身要求很小，不容许抽气盘有较大的变形量，且在加工制作中，为了尽可能的减小抽气盘的变形量，需采用高速低进给量的铣削方式，效率低下。
技术实现思路
为此，本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中盘体较薄，抽气沟槽加工后，由于加工应力较大，导致本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有拖动功能的分子泵底盘，包括盘体（1）；抽气沟槽（2），其特征在于：所述盘体（1）为安装分子泵电机及转子总成的底盘，所述抽气沟槽（2）设置在所述盘体（1）上端面。

【技术特征摘要】
1.一种具有拖动功能的分子泵底盘，包括盘体（1）；抽气沟槽（2），其特征在于：所述盘体（1）为安装分子泵电机及转子总成的底盘，所述抽气沟槽（2）设置在所述盘体（1）上端面。2.根据权利要求1所述的具有拖动功能的分子泵底盘，其特征在于：所述盘体（1）上设有用于安装电机及转子总成的通孔（4）。3.根据权利要求1所述的具有拖动功能的分子泵底盘，其特征在于：所述盘体（1）上靠近所述抽气沟槽（2）下方设有排气通道（7）及排气口（8），且所述排气通道（7）与所述排气口（8）连通。4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘安良，何毅，唐洪，
申请(专利权)人：成都舒派博真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51