下载一种具有拖动功能的分子泵底盘的技术资料

文档序号:13819005

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本实用新型公开了一种具有拖动功能的分子泵底盘,包括盘体(1)以及设置在所述盘体(1)上的抽气沟槽(2),所述盘体为安装分子泵电机及转子总成的底盘。该实用新型的分子泵底盘加工制作后,变形量极小,质量易保证,装配工艺简单。...
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