The utility model provides a high pressure ratio composite molecular pump, the composite molecular pump pressure than the order of 1010~1011, including the turbine section and the traction section consists of turbine impeller and vane, achieve high pumping speed, traction by traction and traction drum drum components, to achieve high compression ratio. The disc traction function to increase the utility model between the high pressure ratio composite molecular pump turbine and the traction section is still in the impeller assembly, assembly of the traction disc, in the outer drum is installed on the double traction disc groove machining arc or straight line slot, two level traction function increased, can effectively improve the molecular pump the ratio of pressure, reduce the vacuum inside the cavity, improve the composite molecular pump pumping performance, meet the requirements of ultra low vacuum instrument.
【技术实现步骤摘要】
本技术属于真空
,具体涉及一种高压比复合分子泵。
技术介绍
复合分子泵属于高速旋转的真空获得设备,由动叶轮、静叶片、高速电机、滚动轴承等组成。复合分子泵包括涡轮段和牵引段,涡轮段由多组动叶轮和静叶片组成,实现大抽速;牵引段由牵引鼓筒和牵引槽筒组成,实现高压比。如果压比不够高,在前级加气负载时,真空腔内部的压力会升高,影响测量结果,甚至会损坏高精度的测量仪器。目前,亟需一种高压比复合分子泵。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种高压比复合分子泵。本技术的高压比复合分子泵,其特点是,包括内磁环、泵壳、球轴承组件、底座组件、外槽筒、牵引槽盘、静叶片、定位环、动叶轮、永磁轴承外磁环、牵引盘、芯轴、牵引鼓筒、永磁电机转子;其连接关系是,所述的泵壳与底座组件沿底座组件的圆周固定,球轴承组件放置在泵壳中心的空腔中,与底座组件圆周固定,泵壳中心安装有芯轴;所述的外槽筒、牵引槽盘、静叶片、定位环从下至上依次与芯轴同轴安装在泵壳中心的空腔中,在泵壳的内腔壁上定位固定;所述的动叶轮、永磁轴承外磁环、牵引盘、牵引鼓筒依次过盈装配在芯轴上,永磁电机转子粘接在芯轴上;所述的芯轴的下端支承固定于球轴承组件,芯轴的上端由泵壳顶端的内磁环、外磁环构成的永磁轴承支承,内磁环安装在泵壳的上端,外磁环安装在动叶轮的内孔腔。所述的牵引槽盘的上表面刻有上牵引槽,下表面刻有下牵引槽,上牵引槽的外径小于下牵引槽的外径。所述的牵引槽盘采用双面牵引槽结构,牵引槽轮廓为圆弧或直线。所述的牵引槽盘采用两瓣结构,使用止口定位。所述的牵引槽盘的材料为铝合金。所述的牵引盘采用平面盘形结构。所述的牵引盘的 ...
【技术保护点】
一种高压比复合分子泵,其特征在于,包括内磁环(1)、泵壳(2)、球轴承组件(3)、底座组件(4)、外槽筒(5)、牵引槽盘(6)、静叶片(7)、定位环(8)、动叶轮(9)、永磁轴承外磁环(10)、牵引盘(11)、芯轴(12)、牵引鼓筒(13)、永磁电机转子(14);其连接关系是,所述的泵壳(2)与底座组件(4)沿底座组件(4)的圆周固定,球轴承组件(3)放置在泵壳(2)中心的空腔中,与底座组件(4)圆周固定,泵壳(2)中心安装有芯轴(12);所述的外槽筒(5)、牵引槽盘(6)、静叶片(7)、定位环(8)从下至上依次与芯轴(12)同轴安装在泵壳(2)中心的空腔中,在泵壳(2)的内腔壁上定位固定;所述的动叶轮(9)、永磁轴承外磁环(10)、牵引盘(11)、牵引鼓筒(13)依次过盈装配在芯轴(12)上,永磁电机转子(14)粘接在芯轴(12)上;所述的芯轴(12)的下端支承固定于球轴承组件(3),芯轴(12)的上端由泵壳(2)顶端的内磁环(1)、外磁环(10)构成的永磁轴承支承,内磁环(1)安装在泵壳(2)的上端,外磁环(10)安装在动叶轮(9)的内孔腔;所述的牵引槽盘(6)的上表面刻有上牵引槽 ...
【技术特征摘要】
1.一种高压比复合分子泵,其特征在于,包括内磁环(1)、泵壳(2)、球轴承组件(3)、底座组件(4)、外槽筒(5)、牵引槽盘(6)、静叶片(7)、定位环(8)、动叶轮(9)、永磁轴承外磁环(10)、牵引盘(11)、芯轴(12)、牵引鼓筒(13)、永磁电机转子(14);其连接关系是,所述的泵壳(2)与底座组件(4)沿底座组件(4)的圆周固定,球轴承组件(3)放置在泵壳(2)中心的空腔中,与底座组件(4)圆周固定,泵壳(2)中心安装有芯轴(12);所述的外槽筒(5)、牵引槽盘(6)、静叶片(7)、定位环(8)从下至上依次与芯轴(12)同轴安装在泵壳(2)中心的空腔中,在泵壳(2)的内腔壁上定位固定;所述的动叶轮(9)、永磁轴承外磁环(10)、牵引盘(11)、牵引鼓筒(13)依次过盈装配在芯轴(12)上,永磁...
【专利技术属性】
技术研发人员:陶继忠,王文升,何朝晖,蔡飞飞,刘广民,马绍兴,刘有海,雷艳华,张明君,吴定柱,
申请(专利权)人:中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,
类型:新型
国别省市:四川;51
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