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一种应用小型复合分子泵的质谱仪真空腔体系统,属于质谱仪技术领域。包括真空腔体(1)、上盖(2)、O型圈(3)、端盖(4)、真空规(8)、涡轮分子泵(6)、波纹管(5)、小型复合分子泵(7);真空腔体(1)水平放置,真空腔体(1)的上部用上盖...
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