【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种磁悬浮分子泵系统，包括泵体、置于泵体内的转子、作用于所述转子的径向磁轴承和轴向磁轴承，其特征在于：还包括，安装角α角度传感器，安装于分子泵内，用于检测安装角α的角度；旋转角β角度传感器，安装于分子泵内，用于检测旋转角β的角度；显示器，安装于所述泵体的外表面，与所述安装角α角度传感器和所述旋转角β角度传感器连接并显示其检测的角度；调整控制单元，用于调整分子泵的径向磁轴承偏置电流、轴向磁轴承偏置电流和ＰＩＤ控制参数，其输入端口安装于所述泵体的外表面；其中，以水平向右的方向为ｘ轴正方向，垂直地面向上的方向为ｙ轴正方向，建立直角坐标系，以磁悬浮分子泵转子轴线相对于直角坐标系...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张凯，张小章，李奇志，邹蒙，武涵，
申请(专利权)人：清华大学，北京中科科仪技术发展有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。