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本实用新型涉及一种磁悬浮分子泵系统，包括泵体、置于泵体内的转子、作用于所述转子的径向磁轴承和轴向磁轴承，安装于分子泵内的安装角α角度传感器和旋转角β角度传感器，显示器以及调整控制单元。安装角α角度传感器和旋转角β角度传感器分别检测分子泵安装...该专利属于清华大学;北京中科科仪技术发展有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学;北京中科科仪技术发展有限责任公司授权不得商用。