【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种磁悬浮分子泵，包括泵体（３）和设置在所述泵体（３）内的转子轴系；所述转子轴系包括转子、第一径向磁轴承（６）、第二径向磁轴承（９）、第一轴向磁轴承（１３）和第二轴向磁轴承（１５）；所述转子包括转子轴（７）和与所述转子轴（７）固定的叶轮（１）；所述转子轴（７）的中部依此间隔地套设有所述第一径向磁轴承（６）和所述第二径向磁轴承（９），所述转子轴（７）的下部套设有所述第一轴向磁轴承（１３）和所述第二轴向磁轴承（１５），所述转子轴（７）由所述第一径向磁轴承（６）、所述第二径向磁轴承（９）、所述第一轴向磁轴承（１３）和所述第二轴向磁轴承（１５）支承；其特征在于：常态下，转子质心...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张剀，武涵，李奇志，张小章，邹蒙，
申请(专利权)人：北京中科科仪技术发展有限责任公司，清华大学，
类型：发明
国别省市：11
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